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基于分步式压印光刻的激光干涉仪纳米级测量及误差研究 总被引:1,自引:1,他引:0
针对在未做隔离保护处理的环境中,基于Michelson干涉原理的激光干涉仪测量系统存在严重的干扰误差,不适合分步式压印光刻纳米级对准测量的要求.采用Edlen公式的分析及计算,不仅在理论上揭示出环境温度、湿度、气压等变化对激光干涉仪测量准确度的影响,而且证明影响测量准确度的最大干扰源是空气流动的结果.通过气流隔离措施和系统测量反馈校正控制器,能够实时补偿激光干涉仪两路信号的相差.最终,测量漂移误差在10 min内由13 nm降低到5 nm以内,满足压印光刻在100 mm行程中达到20 nm定位准确度要求. 相似文献
12.
差分吸收光谱法测量大气痕量气体浓度误差分析及改善方法 总被引:8,自引:2,他引:6
差分吸收光谱技术(DOAS)中采用线性最小二乘拟合方法,用痕量气体标准差分吸收截面对测量得到的差分吸收光谱进行拟合,得出大气中痕量气体的浓度.计算结果的准确性不仅取决于光谱的测量精度,而且受标准差分吸收截面以及仪器函数和温度等诸多因素的影响.详细地分析了计算误差的产生原因,提出了用高浓度样品池得到标准吸收截面的方法,针对光谱固有结构,以及温度对标准吸收截面的影响,改进了浓度反演算法.大量的实验表明,综合运用上述方法,即便对低浓度的样气,相对测量误差也能降低到10%以下. 相似文献
13.
根据收集到的公开数据,从弹道导弹的种类和数量,导弹的射程,精度,可靠性,再入体设计能力等方面,对朝鲜的弹道导弹能力进行初步分析,在此基础上计算分析了日本导弹防御系统对朝鲜导弹的防御能力。 相似文献
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美式期权定价中非局部问题的有限元方法 总被引:2,自引:1,他引:1
在本文中 ,我们关心的是美式期权的有限元方法 .首先 ,根据 [4 ]我们对所讨论的问题引进一个新奇的实用的方法 ,它涉及到对原问题重新形成准确的数学公式 ,使得数值解的计算可以在非常小的区域上进行 ,从而该算法计算速度快精度高 .进而 ,我们利用超逼近分析技术得到了有限元解关于 L2 -模的最优估计 . 相似文献
18.
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本文对重复试验次数为2的随机效应方差分析模型, 给出了误差方差齐性, 即$H_0:\sigma_1^2 =\sigma_2^2\leftrightarrow H_1:\sigma_1^2\ne\sigma_2^2$的一种具有相合性的检验方法\bd 并对三个常见模型给出了检验统计量和拒绝域的具体表达式, 最后是两个应用实例\bd 相似文献