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11.
Formation of p-type ZnO film on InP substrate by phosphor doping   总被引:3,自引:0,他引:3  
ZnO thin film was initially deposited on InP substrate by radio frequency (rf) magnetron sputtering and the diffusion process was performed using the closed ampoule technique where Zn3P2 was used as the dopant source. To verify the junction formation of ZnO thin films, the electrical properties were measured, and the effects of Zn3P2 diffusion on ZnO thin films were investigated. It is observed that the electrical property of the film is changed from n-type to p-type by dopant diffusion effect. Based on the results, it is confirmed that ZnO thin films can be a potential candidate for ultraviolet (UV) optical devices.  相似文献   
12.
为了探索低温可调控ZnO薄膜沉积技术,提出了一种新的ZnO薄膜制备方法,即离化团簇束(ICB)法,并自行设计研制了应用该方法制备ZnO薄膜的专门装置.采用超音速喷嘴获得高速锌原子团簇束,用Hall等离子体源产生氧离子束离化锌原子团簇,获得了较高的离化率.在沉积过程中,可以通过调节衬底偏压、氩氧比、衬底加热温度等参数,来控制成膜的质量;应用这个装置成功地在硅衬底上制备的ZnO薄膜,经XRD和EDS检测,薄膜的c轴取向一致,Zn、O原子百分比接近于1:1,成膜质量好.  相似文献   
13.
Understanding the luminescence of ZnO is very important for some applications. In spite of the many studies carried out, there are still some points concerning the origin of some of the luminescence emissions in ZnO crystals that require additional study; in particular, the role of extended defects remains to be a matter of controversy. We present here a cathodoluminescence analysis of the defects generated by Vickers indentation in hydrothermal HTT crystals. Special emphasis was paid to the luminescence band peaking around 3.3 eV. The origin of this band is a matter of controversy, since it has been related to different causes, extended defects being one of the candidates for this emission. The CL images were acquired around crystal defects. It is observed that the 3.3 eV emission is enhanced around the crystal defects; though it is also observed, but weaker, out of the defect regions, which suggests that there exist two luminescence emissions peaking very close to 3.3 eV. The two emissions, one related to structural defects and the other to the LO phonon replica of the free excitonic band, appear very close each other and their relative intensity should determine the shape of the spectrum.  相似文献   
14.
p型未掺杂富锌ZnO薄膜的形成和性能研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
以高纯ZnO为靶材,氩气为溅射气体,利用射频磁控溅射技术在石英衬底上生长出纤锌矿结构的富锌ZnO薄膜.薄膜沿(002)择优取向生长,厚约为1.2μm,呈现电绝缘特性.将溅射的ZnO薄膜在10-3Pa,510~1 000 K的温度范围等温退火1 h,室温Hall测量结果表明ZnO薄膜的导电性能经历了由绝缘—n型—p型—n型半导体的变化.XPS测试表明ZnO薄膜的Zn/O离子比随退火温度的升高而降低,但一直是富锌ZnO,说明未掺杂的富锌ZnO也可以形成p型导电.p型未掺杂富锌ZnO薄膜的形成可归因于VZn受主浓度可以克服VO和Zni本征施主的补偿效应.  相似文献   
15.
利用原子力显微镜分析了ZnO薄膜在具有本征氧化层的Si(100)和Si(111)基片上的表面形貌 随沉积时间的演化. 通过对薄膜生长形貌的动力学标度表征,研究了射频反应磁控溅射条件 下,ZnO薄膜的成核过程及生长动力学行为. 研究发现,ZnO在基片表面的成核过程可分为初 期成核阶段、低速率成核阶段和二次成核阶段. 对于Si(100)基片,三个成核阶段的生长指 数分别为β1=1.04,β2=0.25±0.01,β3=0.74;对 于Si(11 关键词: ZnO薄膜 磁控溅射 生长动力学 成核机制  相似文献   
16.
J. Zhao  T. Li  X.X. Liu 《Applied Surface Science》2006,252(23):8287-8294
ZnO naorods on ZnO-coated seed substrates were fabricated by solution chemical method from Zn(NO3)2/NaOH under assisted electrical field. The working mechanism of electrical field was analyzed and the factors affecting the rod growth such as potential, precursor concentration and growth temperature were elucidated. The structural and optical properties are characterized by SEM, TEM, XRD, HRTEM and UV-vis. The results indicated that the nanorods have wurtzite structure without electrical field and are primarily of zincite structure under electrical field; when the electrical field is 1.1-1.3 V, not only the elevation of ion diffusion and adsorption lower the crystallite/solution interfacial energy and then the crystal nucleation barrier by increasing charge intensity, but also the production of H+ through oxidation of OH increases properly the degree of solution supersaturation near the substrate, and thus lowers the activation energy. Both the two processes do favor to rod growth. With increasing precursor concentration in this system, the average diameter and length of ZnO nanorods increase, leading to decreasing of optical transmittance. The maximum rod growth rate at given concentration of Zn2+ occurs at a specific temperature.  相似文献   
17.
高性能ZnO纳米块体材料的制备及其拉曼光谱学特征   总被引:6,自引:0,他引:6       下载免费PDF全文
利用六面顶高压设备制备了高密度、低脆性、纳米级的ZnO块体材料,用MDI/JADE5 X射线衍射仪(Cu靶)和XL30S-FEG场发射扫描电子显微镜对高压样品的相组成、晶粒尺寸及微观形貌进行了表征.利用E55+FRA106/5傅里叶变换激光拉曼光谱仪通过ZnO块体样品位于50—500cm-1之内的拉曼光谱, 研究了极性半导体纳米材料的拉曼光谱学特征.发现在极性半导体ZnO纳米块体材料中,没有出现明显的尺寸限制效应. 关键词: ZnO纳米块体 拉曼光谱 尺寸限制效应  相似文献   
18.
Friedel-Crafts alkylation of indoles with epoxides to afford 3-alkyl indole derivatives at room temperature with moderate to good yields and high regioselectivity using nanocrystalline titanium(IV) oxide catalyst is described.  相似文献   
19.
本文采用无催化剂直接蒸发高纯Zn粉,在800℃氧气氛条件下,在Si(111)衬底上生长得到以四角状为主的纳米ZnO(T-ZnO)。T-ZnO纳米线每个角约互成110°,长度约为1.5μm,直径100nm左右;Raman分析表明E2(H)普遍存在于各形态的ZnO;光致发光光谱表明,T-ZnO纳米线的光致发光除了与材料性质有关,还与杂质缺陷有关,蓝绿光带是ZnO的缺陷产生的。  相似文献   
20.
采用反应射频磁控溅射方法,在Si (100) 基片上制备了具有高c轴择优取向的ZnO薄膜.利用 原子力显微镜、透射电子显微镜、X射线衍射分析、拉曼光谱等表征技术,研究了沉积温度 对ZnO薄膜的表面形貌、晶粒尺度、应力状态等结晶性能的影响;通过沉积温度对透射光谱 和光致荧光光谱的影响,探讨了ZnO薄膜的结晶特性与光学性能之间的关系.研究结果显示, 在室温至500℃的范围内,ZnO薄膜的晶粒尺寸随沉积温度的增加而增加,在沉积温度为500 ℃时达到最大;当沉积温度为750℃时,ZnO薄膜的晶粒尺度有所减小;在室温至750℃的范 围内,薄膜中ZnO晶粒与Si基体之间均存在着相对固定的外延关系;在沉积温度低于500℃时 ,制备的ZnO薄膜处于压应变状态,而750℃时沉积的薄膜表现为张应变状态.沉积温度的不 同导致ZnO薄膜的折射率、消光系数、光学禁带宽度以及光致荧光特性的变化,沉积温度对 紫外光致荧光特性起着决定性的作用.此外,探讨了影响薄膜近紫外光致荧光发射的可能因 素. 关键词: ZnO薄膜 表面形貌 微观结构 光学常数  相似文献   
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