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Fabrication and Characteristics of Thin Film Bulk Acoustic Resonators with Highly c-Axis Oriented AlN Films 下载免费PDF全文
Thin film bulk acoustic resonators are fabricated by using silicon bulk micromachining technology, which are constructed mainly from aluminium nitride (AlN) piezoelectric films. The results of x-ray diffraction, scanning electron microscopy and atomic force microscopy show that the AlN films exhibit highly c-axis orientation with good surface morphology. The resonators with the AlN films possessed a reflection coefficient -10.6 dB at the resonant frequency 2.537 GHz, an effective electromechanical coupling coefficient 3.75%, series quality 101.8, and parallel quality 79. 7. 相似文献
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在医学超声和超声生物物理学的发展与推动下,有关哺乳动物组织超声性质的研究变得非常重要。所谓超声性质主要是指超声传播衰减、速度及非线性现象等。近一、二十年来,建立并使用了多种实验方法,对哺乳动物组织的超声衰减和传播速度进行了大量测试和研究工作。 本文将介绍有关哺乳动物组织超声衰减和传播速度迄今所获得的系统而有意义的研究数据,并逐一地讨论这些参量与组织的主要组份——水、胶原、脂肪及总蛋白含量之间的定量关系,以及它们在超声诊断技术中的重要意义。 相似文献
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欧洲声化学学会(ESS)于1996年7月7-11日在英国剑桥大学召开了第五届欧洲声化学学术会议。会议用四天时间交流声化学方面内容。以及一天时间交流治疗超声等内容。来自26个国家180多名代表出席了会议。会议以大会特邀报告,研究论文报告及大字报等三种形式交流,共计发表论文131篇。会议安排了美国Illinois大学K.S.Suslick教授的《蛋白质微球的声化学合成》,德国Gottingen大学W.Lauterborn教授的《空化泡动力学》,法国Savoie大学J.L.Lache教授的《溶液声化学中的若干问题》及英国皇家Marsden医院G.R.terHaar博士的《聚焦… 相似文献
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