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双离子束溅射淀积DLC膜的红外特性 总被引:1,自引:0,他引:1
用双离子束溅射法在50℃以下的玻璃基片上淀积了类金刚石碳(DLC)膜.研究了轰击离子能量、轰击离子束流密度及轰击源内氢/氩流量比例对淀积片红外透射特性的影响.所用波段是1.5~5.5μm.结果表明,对所有淀积样片,其相对透过率均随波长增长而增大.在每组实验中,随如上各可变参量的增大,各样片的相对透过率~波长曲线均有先上升后下降的规律.确定了各组相应的临界参数.结果还表明,轰击源不含氢并不影响DLC膜的制取,但轰击源合氢时所制得的膜具有更好的红外透射性.从结构变化的角度解释了上述规律. 相似文献
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K9玻璃是常用的光学和微系统材料。随着光学和微系统技术的迅速发展,由于具有较低廉的价格、良好的微加工性能,在K9玻璃上制作微米、纳米尺度的微结构和微器件的技术,已应用于光电子、微波技术、衍射光学元件等众多领域。但是,由于光学和微波等器件的表面粗糙可引起光散射和信号损失,从而降低器件性能。因此材料表面的超光滑处理对提高光学和微波等器件的性能具有十分重要的意义。 相似文献