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脉冲强流离子束加工装置

引用本文：	张正模.脉冲强流离子束加工装置[J].等离子体应用技术快报,1997(12):11-12.

作者姓名：	张正模

摘要：
关键词：	脉冲强流离子束加工装置脉冲高压离子源
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