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用改进的离子束增强沉积方法和恰当的退火从V2O5粉末直接制备了VO2多晶薄膜.实验测试表明,薄膜的取向单一、相变特性显著、结构致密、界面结合牢固、工艺性能良好,薄膜的电阻温度系数(TCR)最高可达4.23%/K.从成膜机理出发,较详细地讨论了离子束增强沉积 VO2多晶薄膜的TCR高于VOx薄膜的TCR的原因.分析认为,单一取向的VO2结构使薄膜晶粒具有较高的电导激活能,致密的薄膜结构减少了氧空位和晶界宽度,使离子束增强沉积 VO2多晶薄膜结构比其他方法制备的VOx薄膜更接近于单晶VO2是其具有高TCR的原
关键词:
VO2多晶薄膜
离子束增强沉积
热电阻温度系数 相似文献
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报道了KDP晶体中的三倍频产生的实验研究,计算了比较了直接三倍频过程和级联过程对KDP晶体三阶有效非线性系数的贡献,并探讨了KDP作为非线性晶体材料三阶非线性系数测量基准的可行性。 相似文献
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王春杰 《数学物理学报(A辑)》1998,18(3):297-301
设s(c)为双纽线|W^2+C|=1的弧长,c∈「0,+∞),该文讨论了s(c)的性质,并在n=2的情况下解决了Erdos,Herzogt Piranian提出的一个猜测。 相似文献
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由中国科学院声学研究所承担的院“八五”军工项目“声表面波信道化滤波器组件”于1996年12月在北京通过了中国科学院组织的鉴定.在现代战争中,电子对抗是一个重要的方面军.电子侦察信道化接收机是所有电子对抗系统的关键.声表面波信道化滤波器组件是由多个声表面波滤波器加上匹配网络组合起来的,有一个输人端和多个输出端.输出信号按频率分路,是信道化接收机中实现信道化功能的关键部件.声学所承担院句\五”军工项目.研制成频率范围分别为200-350MHZ和350一5O0MHZ两种15信道的声表面波滤波器组件.配套使用时复盖带宽达到300MHZ.在研制过程中,技术上有以下突破:()采用YllZ”LITaO;基片 相似文献
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报道了一种弥散型金属薄膜逾渗系统的制备方法和研究结果。从实验发现这种新型的逾渗系统具有异常的R-I关系、三次谐波系数与独特的电流临界规律。分析表明:这些特性与此类薄膜逾渗结构随电流增大而逐渐变化的过程有关,是由沿膜横向逐渐变化的局域隧道电流(LDTC)与跳跃电导(LDHC)效应引起的。 相似文献
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40.
双峰双波长吸光光度法测定痕量铝 总被引:6,自引:1,他引:5
宁明远 《理化检验(化学分册)》1998,34(5):203-204
在pH5.5~6.0的六次甲基四胺缓冲溶液中,铝一络天青S—溴化十六烷基毗啶一Triton X-100体系具有正、负两个吸收峰于630nm和475nm处.据此,建立了痕量铝的双峰双波长吸光光度法.铝在0~5μg/25ml范围遵守比耳定律,摩尔吸光系数达1.2×10~5.测定了铝锅开水中痕量铝,结果满意. 相似文献