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采用脉冲直流磁控溅射的方式沉积In-Ga-Zn-O (IGZO)膜层作为TFT的有源层.在TFT沟道处的有源层和绝缘层的界面上, 通过溅射法制作一定厚度的负电荷层对阈值电压(Vth)进行调制, 使得Vth由-3.8 V升高至-0.3 V, 器件由耗尽型向增强型转变.通过增加Al2O3作为负电荷层, 可有效地将Vth控制在0 V附近, 并且提高其器件稳定性, 得到较好的电学特性:电流开关比Ion/Ioff>109, 亚阈值摆幅SS为0.2 V/dec, 阈值电压Vth为-0.3 V, 迁移率μ为9.2 cm2 /(V·s). 相似文献
966.
随着海洋环境武器装备隐身发展的需要, 开展具有微波低通高阻特性的复合材料构件设计与研究显得重要而迫切. 文章首先设计了一种中空六边形周期性结构, 以此为基础设计了一个由面层、中空六边形环周期层1、中间层、中空六边形环周期层2、面层组成的新型复合双层频率选择表面(FSS)结构件. 其上层FSS的结构参数为中空六边形环边长3.0 mm, 线宽度0.5 mm, 缝隙宽度0.4 mm; 下层FSS的结构参数为中空六边形环的边长3.2 mm, 线宽度0.5 mm, 缝隙宽度1.0 mm. 模拟结果表明: 该复合材料构件具备优良的低频透过性与高频屏蔽性快速转换的特性, 能够获得优异的低通高阻性能, 同时在45°范围内具备优良的角度不敏感性. 最后制备和实验验证得到了0–2 GHz低频段具有95.6%高透过性、同时在7.05–18 GHz高频段具有10 dB 以上屏蔽性能的复合材料构件, 对具有隐身特性的新型滤波电磁功能构件的研制具有重要价值. 相似文献
967.
在讲解"万有引力定律"的内容时,计算星球的第一宇宙速度是一个重点.计算的方法通常是由万有引力提供向心力,根据匀速圆周运动的规律求解.而牛顿在求解星球的第一宇宙速度的时候,用了巧妙的比例和几何方法,体现了微分的思想;同时,是 相似文献
969.
采用交替沉积磁控溅射工艺制备了超薄多层的FeCoBSiO2磁性纳米颗粒膜.利用x射线衍射仪、扫描探针显微镜、透射电子显微镜分析了薄膜的微结构和形貌特征.采用振动样品磁强计、四探针法、微波矢量分析仪及谐振腔法测量薄膜试样的磁电性能和微波复磁导率.重点对SiO2介质相含量、薄膜微结构对电磁性能产生重要影响的机理做了分析和探讨.结果 表明:这类FeCoBSiO2磁性纳米颗粒膜具有良好的软磁性能和高频电磁性能,2GHz时的 磁导率μ′高于70,可以应用于高频微磁器件或微波吸收材料的设计.
关键词:
磁性纳米颗粒膜
高频特性
复磁导率
磁控溅射 相似文献