超大规模集成电路光学光刻技术的现状与展望

光学光刻是目前超大规模集成电路(VLSI)制备中主要的微米和亚微米的图形加工技术,这一技术将继续保持其主导地位成为90年代VLSI发展的关键。本文综述了近年来光学光刻工艺的发展,主要介绍了G线(436nm)、Ⅰ线(365nm)和准分子激光光刻的现状,并对实现高的光学光刻分辨率所必须解决的透镜设计、套准精度和像场面积等问题作了详细描述。最后展望了发展方向、     

利用有限几何构作3-PBIB（2）设计和3-设计

The concept of t-PBIB design was introduced by Wei Wandi and Yang Benfu as a generalization of G-design and PBIB design. In this paper, a number of 3-associntion schemes and 3-PBIB(2) designs are constructed on the bases of the finite vector space over Fq and the finite unitary geometry over Fq2. Then a number of 3-designs are constructed on the bases of the finite orthogonal geometries over Fq. The parameters of all these designs are computed.     

A Multisymplectic Variational Framework for the Nonlinear Elastic Wave Equation

A multisymplectic variational internal energy corresponding equation, its associated local framework for the nonlinear elastic wave equation is presented. The modified to the approximate nonlinea.r elastic wave equation is derived, we obtain the energy and momentum conservation laws as well as the multisymplectic form simultaneously directly from the variational principle     

变量的两种新观念

提出“第一变量”和“弹性变量”的概念，为了更好地在科学技术上使用数学工具，在此给同辈少许解决问题的线索。     

关于设计性物理实验的几个问题

对设计性物理实验的教育功能进行了探讨，并以“用电位差计校正毫安表”为例，介绍了如何对学生的动手能力进行评价．     

带有弹性碰撞的离散的凝结方程

带有弹性碰撞的离散的凝结方程是反映粒子增长动力学的数学模型，它刻划了这样一种粒子反应系统；系统中任意两个粒子碰撞后一定的概率或者凝结成为更大的粒子，或者发生弹性碰撞．本文研究了这一系统发生冻肢的可能性，并给出了一个充分条件．     

弹性分析方法在预测消费品购买力投向中的应用

(一) 科学地预测消费品购买力投向,在很大程度上取决于预测方法的选择是否恰当.在相同条件下,运用不同的预测方法会产生不同的预测结果.选择预测方法应结合预测对象的特点、预测占有资料状况、预测时间的长短、预测费用、预测人员的水平等因素.预测消费品购买力投向,很重要的是占有资料的状况(假定其它因素相同).我国预测购买力投向的方法,主要有家计调查法和历史资料分析法,这些方法的缺陷是:家计调查法工作量大,且在选择对象时收入的高低都会使其缺乏普遍意义;历史资料分析法虽然克服了调查工作量大的问题,但需要大量地占有正常的历史资料…     

电感储能功率调节装置小型化设计

介绍了电感储能功率调节装置的小型化结构设计，以及装置在高电压大电流条件下绝缘性能的优化设计。在以电容器（2μF、充电电压62kV)为初始能源条件下，在80Ω电阻负载上获得电压大于700kV、脉宽大于100ns、前沿小于50ns的脉冲输出，性能稳定可靠。