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61.
铝互连线的电迁移问题及超深亚微米技术下的挑战   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
张文杰  易万兵  吴瑾 《物理学报》2006,55(10):5424-5434
铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向. 关键词: 电迁移 铝互连 微结构  相似文献   
62.
运用光学传输矩阵理论,研究了异质结构光子晶体的能带特性。结果表明,与周期结构相比异质结构光子晶体可以显著地拓宽光子晶体的光子带隙;在该文提出的结构中引入缺陷,与(1H1L)m(1H)n(1L1H)m光子晶体相比,产生缺陷模式光子带隙范围明显拓宽,适当调整缺陷层的数目、位置和厚度可得到多通道滤波;并研究了实际操作中随机误差带来的影响,随无序度的增大,其带宽基本不变。  相似文献   
63.
J Ashenfelter 《Pramana》2002,59(5):713-717
The ESTU began operation in 1988 and achieved the design voltage of 20 MV in 1990. Since that time, improvements to the gas handling system, negative ion injector, accelerator terminal and control system have greatly increased its capability and reliability. Today, the ESTU can efficiently produce an extensive assortment of stable ions at wide-ranging energies in support of low-energy nuclear physics.  相似文献   
64.
A pressure sensitive paint (PSP) measurement has been known as a pressure field measurement technique based on the oxygen quenching phenomenon of luminescence of specific luminophores. A PSP measurement was applied for pressure field measurement in a low-solidity circular cascade diffuser of a single-stage transonic centrifugal compressor with 5 in pressure ratio for HFC134a gas. The oxygen concentration was about 500 ppm. Ru (bath-phen) was adsorbed on a silica-gel thinlayer chromatography sheet, and the sheet was pasted onto the side-wall between the cascade vanes. A drastic change in luminescent intensity was recognized during a surge condition. Also the pressure variations based on luminescent intensity agreed well with the pressure fluctuations measured using a semiconductor pressure sensor with high-frequency-response. It was shown that a PSP measurement worked well to investigate the unsteady pressure fields in a circular cascade diffuser of a transonic centrifugal compressor. Moreover, the time response of PSP becomes clear as a problem to be overcome for the present.  相似文献   
65.
报道了利用兰州重离子加速器国家实验室ECR源引出的高电荷态离子207Pbq+(24≤q≤36)入射到Si(110)表面产生的电子发射的实验测量结果.结果表明,高电荷态离子与固体表面相互作用产生的电子发射产额Y与入射离子的电荷态q、入射角度ψ和入射能量E都有很强的关联.首次发现,电子发射产额Y与入射角度ψ间有接近1/tanψ的关系.理论分析认为,这些过程与基于经典过垒模型的势能电子发射过程密切相关.  相似文献   
66.
基于远场的拼接光栅压缩池的设计   总被引:3,自引:2,他引:1       下载免费PDF全文
 利用傅里叶光学方法得到了失调拼接光栅压缩池输出光束的远场振幅表达式,建立了分析拼接光栅的各种误差的理论模型,得到了拼接误差对脉冲的影响是附加相位延迟和角度偏转。在要求远场的一倍衍射极限区域的积分能量分布达到理想情况下的90%的条件下,对于含有口径为40 cm、脉宽为0.1~10 ps脉冲的系统进行分析并分别得到了各种误差的容限。  相似文献   
67.
68.
Dual fractional cutting plane algorithms, in which cutting planes are used to iteratively tighten a linear relaxation of an integer program, are well-known and form the basis of the highly successful branch-and-cut method. It is rather less well-known that various primal cutting plane algorithms were developed in the 1960s, for example by Young. In a primal algorithm, the main role of the cutting planes is to enable a feasible solution to the original problem to be improved. Research on these algorithms has been almost non-existent.  In this paper we argue for a re-examination of these primal methods. We describe a new primal algorithm for pure 0-1 problems based on strong valid inequalities and give some encouraging computational results. Possible extensions to the case of general mixed-integer programs are also discussed.  相似文献   
69.
70.
We study the recent construction of subfactors by Rehren which generalizes the Longo–Rehren subfactors. We prove that if we apply this construction to a non-degenerately braided subfactor NM and α±-induction, then the resulting subfactor is dual to the Longo–Rehren subfactor MM oppR arising from the entire system of irreducible endomorphisms of M resulting from αplusmn;-induction. As a corollary, we solve a problem on existence of braiding raised by Rehren negatively. Furthermore, we generalize our previous study with Longo and Müger on multi-interval subfactors arising from a completely rational conformal net of factors on S 1 to a net of subfactors and show that the (generalized) Longo–Rehren subfactors and α-induction naturally appear in this context. Received: 11 September 2001 / Accepted: 7 October 2001  相似文献   
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