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测试温度对nc—Si:H膜光致发光特性的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
利用常规等离子体化学气相沉积(PECVD)工艺制备了nc-Si:H膜,并对其光致发光(PL)特性从10-250K温度范围内进行了变温测量,实验结果指出,随着测试温度升高,PL峰值能量发生了54meV的红移,PL强度在T〉80K后呈指数下降趋势,PL峰值能量的红移起因于带隙收缩,而PL强度的减弱则是由于非辐射复合起了主导作用。 相似文献
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A laser-induced chemical vapor deposition (LICVD) nanometer equipment is designed and fabricated. The design conception of key parts is expatiated. The energy threshold of SiH4 decomposing is studied. In the condition of same reactive gas flux, the laser energy threshold decreases with the increase of SiH4 concentration. In the condition of same SiH4 concentration, with the increase of reactive gas flux, the laser energy threshold which induces SiH4 decomposition increases linearly at the beginning, and when the flux is more than 100 ml/min, it turns to increase slowly. The factors which influence the laser threshold are analyzed. 相似文献
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目前可能制作的尺寸最小的MOS晶体管,虽然其沟道长度仅有几微米,但从源极发射的电子在晶体中经受多次散射之后,其速度便处于所谓的饱和状态,这就限制了器件的工作频率. 但是,如果晶体管的结构尺寸大为缩小,以致于低温(<77K)时电子的平均自由程可以接近或者大于由现代亚微米工艺 相似文献
66.
半导体材料科学发展的历史回顾 总被引:2,自引:0,他引:2
半导体科学技术是20世纪中最伟大和最重要的科技成就之一。在高新技术迅速发展的今天,重温其发展历程,总结其发展规律和认识其发展特点,具有重要的现实意义。作者着重评述了近半个世纪以来,半导体科学技术在材料、物理、器件与工艺四个领域内所取得的一系列重大进展。 相似文献
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设计了一套新的太阳能热泵热水系统,介绍了该系统的工作原理和特点,分析表明,该系统既具有普通太阳能热泵的优点,又能够实现供暖、供冷、全年供应生活热水等多种功能。采用机理建模的方法建立了房间冷负荷、风机盘管、执行器、传感器和循环水系统的传递函数模型。设计了太阳能热泵热水系统的循环水系统PID控制、模糊控制和模糊自适应PID控制三种控制方案,并针对设计的三种控制方案对系统进行了控制仿真。结果表明,从调节时间、超调量和阶跃响应等几个方面综合考虑,由于模糊自适应PID控制能够在线调整控制系统的特性参数,随时适应系统的运行变化,在太阳能热泵热水系统的循环水系统运行控制上具有明显的优势。 相似文献
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表面等离子共振谱半波全宽的算法探讨 总被引:1,自引:0,他引:1
根据金属薄膜复介电常量的性质和衬底对表面等离子波波矢的微扰,对在波长调制下的表面等离子共振传感器输出光谱的半波全宽计算方法进行了探讨。建立了输出光谱的半波全宽与传感器各参量之间关系的数学表达式。将理论研究与实验结果进行对比后发现,两者吻合较好。文中的研究结果可为优化传感器的特性提供理论依据。 相似文献
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