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利用椭圆偏振光的特性来测量金属、半导体的薄膜厚度、反射特性、复数折射率等等,已有成熟的方法与仪器。它们最核心的问题是要测量一个椭圆偏振光的水平分量与垂直分量之间的位相差。因此测量椭圆偏振光两个分量之间的位相差既有其本身的重要性,也是一个很有实际意义的问题。目前已有的测量位相差的方法有:利用四分之一波长片(例如国产 TP—77型椭圆偏振光测厚仪)、利用巴俾涅-索累补偿器。利用电光调制器等等。本文打算再介绍一个新的测量位相差的方法。 (一)原理 从 M.玻恩和 E.沃耳失著“光学原理”中译本45页公式(24)我们知道式中a、… 相似文献
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