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提出了一种基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术。通过采用一元线性采样方式,在不同偏振照明条件下采集浸没式光刻机投影物镜的空间像进行主成分分析,在快速建模的同时实现高阶波像差的高精度检测。与基于Box-Behnken Design统计抽样方法的超高数值孔径光刻投影物镜高阶波像差检测方法相比,所提技术有效降低了采样数,提高了采样效率,加快了建模速度。采用光刻仿真软件PROLITH对所提技术进行了仿真验证,并分析了照明方式对高阶波像差检测精度的影响。仿真结果表明,该技术对高阶波像差(Z5~Z64)的检测精度优于1.03×10~(-3)λ,同时其建模速度提升了约30倍。 相似文献
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在21 500~11 500 cm-1光谱区间内测量了Gd2O2S:Eu的荧光光谱,测量是在室温和液氮条件下进行的,对122条低温谱线和96条常温谱线进行了指认。识别了Eu3+离子5D0~2及7F0~6的39个斯塔克能级中的35个能级。在0~15 GPa压力范围内,研究了Gd2O2S:Eu高压下的发射光谱。在压力作用下,发现所有观测到的谱线都红移,强度降低。6个5D0~2能级下降速度大于7FJ,5D2、7F2~5多重态的斯塔克劈裂变大,而5D1和7F1的劈裂变小。 相似文献
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四苯氧基酞菁钴及其吡啶衍生物的配合物的合成和性质 总被引:1,自引:0,他引:1
合成了2,2′,2″,2-四苯氧基酞菁钴配合物[TPhOPeCo(Ⅱ)]及其与吡啶衍生物的配合物[TPhOPcCo(Ⅱ)(L)_2](L=Py,MePy,AnPy),测定了其IR、UV-Vis、热稳定性及其在DMF中的氧化还原半波电位、电子转移速度常数和在不同电位电解下的电子吸收光谱。 相似文献
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飞机操纵前轮转弯运动的数学模型及数值仿真 总被引:10,自引:0,他引:10
对于飞机滑跑时的操纵前轮转弯运动,本文建立了包括飞机整体运动和前轮转向运动的数学模型,用牛顿-欧拉法导出了非线性运动微分方程组,并求出数值解。在一定限制条件下计算出飞机前轮的最大转向角和飞机的动态响应曲线及其重心的运动轨迹,并把转弯区域面积的计算值与简化理论值作了对比 相似文献
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线性振动亏损系统广义模态参数的识别方法 总被引:2,自引:0,他引:2
基于线性振动亏损系统的广义模态理论,本文提出了一种识别亏损系统广义模态参数的频域方法。该方法将直接法与迭代法相结合,无需人工初值,可分步识别出亏损系统的全部广义模态参数。模拟识别结果表明,本文方法是有效且可行的。 相似文献
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为研究电流变液的剪切强度, 首先采用化学共沉淀法合成棒状草酸氧钛酸钙(CTO)纳米颗粒, 通过改变聚乙二醇的相对分子质量、用量以及水和乙醇的配比调节颗粒形貌; 然后将最优条件下制备的棒状结构CTO纳米颗粒均匀地分散在硅油中, 发现制得的电流变液表现出优异的电流变特性和抗沉降性, 屈服应力可达180 kPa. 相似文献
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动物源食品中β-兴奋剂残留物检测技术的进展评述 总被引:1,自引:0,他引:1
对动物源食品中β-兴奋剂残留物的检测技术的进展作了评述。内容涉及试样处理技术以及多种用于分析的测试技术,诸如色谱、免疫分析、生物传感技术等。引述文献31篇。 相似文献
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