共查询到20条相似文献,搜索用时 35 毫秒
1.
在利用近场超声悬浮技术搬运晶圆的过程中,为提高近场超声悬浮力,该文研究了气体物理性质与近场超声悬浮力之间的关系。利用声辐射压理论与流体力学理论对不同气体介质下的悬浮力进行建模与求解。搭建了可测量不同气体环境中悬浮力的实验平台。实验发现氩气环境下超声悬浮力平均值相对空气环境下提升24.8%。结合实验与理论计算分析了气体密度、比热容比、声速与动力黏度对悬浮力的影响,推断气体的比热容比为影响近场超声悬浮力的主要参数。该方法为晶圆搬运的环境适用性提供了参考价值。 相似文献
2.
3.
4.
光电反馈式静电悬浮及静电力机制研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了光电反馈式静电悬浮方法 ,给出了静电悬浮力的理论计算公式 ,讨论了静电力与电极电压、电极 -悬浮体间距、悬浮体材料等因素之间的关系。通过实验测定了静电力与上述因素之间的关系曲线 ,获得了理想的结果。理论分析与实验结果均表明 ,实现导体与常规非导体的静电悬浮是完全可行的 相似文献
5.
6.
7.
塑料超声焊接头熔化状态与强度 总被引:1,自引:0,他引:1
对塑料超声焊接头熔化状态影响其质量的因素进行了研究.通过对焊接接头熔融体温度、粘度、剪切速率等材料物理参数的测试分析发现,焊接压力和振幅对接头熔化层的尺寸及流动状态影响很大,随焊接振幅和焊接压力的增大,塑料熔融体的温度提高,粘度减小,熔化层的厚度而减小.利用光学显微镜观察了接头的组织形貌,发现接头熔化层组织具有明显的熔体流动方向性,焊接振幅和焊接压力越大,熔体剪切速率越大,接头熔化层内组织取向越明显.接头剪切和弯曲强度的测试结果表明,接头力学性能具有明显的各向异性,为获得合适熔化层厚度和组织取向程度,必须合理选取焊接工艺规范,这样才能取得满意焊接接头质量. 相似文献
8.
在利用电磁悬浮技术实现液滴悬浮的过程中,液滴内部往往存在剧烈对流、外部伴随快速旋转和质心的水平位移等不稳定因素;因此,实现液滴的稳定悬浮是完善电磁悬浮技术的关键.本文采用实验观测的方法,通过U形静磁场组件对液滴所在空间施加横向静磁场,利用高速相机记录了不同磁场强度下纯铜熔融液滴的振荡变形过程;分析了横向静磁场对悬浮铜液滴振荡频率、振幅以及旋转的影响.实验发现:对于熔融前的固态铜颗粒,若静磁场强度超过0.3 T,铜颗粒几乎以静止状态悬浮.熔融后,当施加0.15 T的静磁场,与未加静磁场时相比,液滴俯视图轮廓线拟合出的椭圆分别与x轴和y轴的交点坐标之差R-、椭圆面积A和椭圆长轴长度Dmax的振幅分别减小了25%,76%和60%;随着磁场强度的继续增加,振幅和频率继续减小,但在静磁场强度为0.3 T时,相比静磁场强度为0.2 T,频率增加了1 Hz.横向静磁场还抑制了悬浮铜液滴的旋转,当磁场强度增加到0.53 T时,悬浮液滴只在10?的角度范围内摆动.这些结果表明,施加横向静磁场能够有效提高悬浮液滴的稳定性. 相似文献
9.
基于超流流体力学方程组和标度理论,数值研究了Bardeen-Cooper-Schrieffer (BCS)-Bose-Einstein Condensate (BEC)渡越过程中超流费米气体在线性减小谐振子势下的集体激发.详细研究了包括谐振子势频率线性减小的速度,减小到的幅度以及势阱各向异性参数对集体激发的影响.通过频谱分析和数据拟合,分别研究了各向同性势和各向异性势下在最小振幅激发下所对应的模式,且数值计算得到的频率值在整个BCS-BEC渡越过程中与前期的理论结果符合得很好.该工作可以为后面超流费米气体集体激发的实验提供有益的理论参考 相似文献
10.
11.
12.
13.
14.
建立了空气耦合电容式微超声换能器(CMUT)的理论方法,分析CMUT各个结构参数对其性能参数的影响。根据理论分析结果结合无损检测应用背景设计了一个由16个阵元构成的CMUT阵列,并采用SOI晶圆键合工艺制作。该阵列每个阵元包含16个圆形CMUT敏感单元,敏感单元的半径400μm,中心频率230 kHz。建立CMUT发射和接收瞬态仿真模型分别得到CMUT发射声压和接收灵敏度与激励电压的关系,并通过实验测试验证该仿真模型的准确性。最后通过实验对CMUT与商用压电空耦超声换能器的性能进行对比,实验结果表明CMUT的发射声压和接收灵敏度与商用换能器达到相同数量级,并且能够成功激发和接收铝合金板中A_0模态Lamb波。 相似文献
15.
利用脉冲激光诱导瞬态表面光电压探测技术研究了半导体表面修饰有机染料LB膜的光致电荷转移的动力学过程.实验发现,半导体表面氧化层的存在对界面电荷转移有很大影响. 相似文献
16.
为实现在纵向单激励超声振动输入条件下获得纵扭谐振输出,提出一种基于声波传播理论为基础设计阶梯型变幅杆,并在其小端增加沿中心轴均布6斜槽的圆环传振杆的方案:首先数值计算进行理论设计,然后使用有限元进行分析修正,最后确定变幅杆尺寸。结果表明:理论设计谐振频率20kHz,仿真分析在19457Hz时变幅杆能够实现纵扭谐振;根据仿真结果制作变幅杆,阻抗测试结果谐振频率为19884Hz,与理论值、仿真值误差较小;在输入端加载幅值为5μm的纵向单激励超声振动,测试输出端截面圆周上任意一点,其切向和纵向振幅分别为12.7μm和8.5μm,表明变幅杆实现了纵扭谐振且振幅增强。 相似文献
17.
18.
19.
20.
提出了一种一端输入多端输出等幅振动的纵振动方向变换体。变换体由输入杆、半球形过渡体和输出杆组成,通过半球形过渡体将一个输入杆与多个输出杆耦连为一体,并且多个输出杆呈立体分布,可实现一端纵振动输入多个方向上纵振动均匀输出。利用振动变换体端面的自由边界条件,以及各组件连接处的纵向位移、纵向力、横向位移和转角连续条件,推导了纵振动方向变换体的频率方程。解析计算了不同几何尺寸的纵振动变换体的谐振频率,与有限元法的计算值及实验测试值基本吻合。将纵振方向变换体的输入端与谐振频率为19.8 kHz的换能器相连,利用激光测振仪测试了纵振动变换体各输出端振型及各输出端相对于输入端的振幅放大系数,结果显示纵振动经过方向变换体成功地传输到了变换体的各输出杆的端面,且各输出端的振幅基本相等。 相似文献