Φ1m平面镜的力学分析及实验研究

空间太阳望远镜(SST)的装校需要一个倒置的直径为1m的平面镜,此平面镜的面形精度决定了SST的装校成败。平面镜的支撑采用滑轮砝码机构,具有18个牵引点,每个牵引点的牵引力是独立可调的。在此支撑下,利用有限元分析方法分析了平面镜的变形情况,提出了用主动光学原理对牵引力大小进行优化的方法,计算出了保持平面镜具有良好面形时所需要的牵引力的大小。采用Ritchey_Common方法对平面镜进行了测量。测量结果表明,平面镜面形精度的均方根值优于λ/30(λ=633nm),满足了SST的装校要求。     

光学工艺 光学加工工艺与设备

TQ171.65 2004053915瑞奇-康芒法中的一种数据处理方法=A data processing method in Ritchey-Mommon test[刊,中]/田秀云(中科院光电所,四川,成都(610029)),吴时彬…∥光电工程,—2004,31(1)。—23-25,31 通过在光瞳面上取点的方法,找出被检平面镜面误差与检验系统波像之间的相互关系,即影响函数。利用     

光学工艺 光学加工工艺与设备

TQ171．65 2005032360 利用计算机辅助装调检测矩形大口径离轴非球面的方法 研究=Study on testing methods of large-aperture rectangle off-axis aspherical surface with computer aided alignment [刊,中]／杨晓飞(中科院长春光机所．吉林,长春 (130022)),韩昌元∥光学技术．-2004,30(5)．-532-534 通过非球面的零位补偿法,完成了对矩形大口径离轴 非球面镜的检测。先用光学设计软件Zemax从理论上分     

光学工艺 光学加工概论

TQ171．65 2005064468 基于泽尼克多项式进行面形误差拟合的频域分析=Fre- quency domain analysis of surface figure fitting based on Zernike polynomials[刊,中]/刘剑峰(哈尔滨工业大学空 间光学工程研究中心．黑龙江,哈尔滨(150001)),龙夫年 …∥光学学报．-2005,25(8)．-1062-1066     

几何光学 光学镜头、光学零部件

TH703 2005031635 MOCVD-Ga0.4In0.6As0.85P0.15／InP分布布喇格反射镜的反 射率=Reflectivity of MOCVD-Ga0.4In0．6AS0．85 P0．15／InP distributed Bragg reflectors[刊,中]／蒋红(中科院长春光 机所激发态物理重点实验室．吉林,长春(130033)),金亿 鑫…∥发光学报．-2004,25(6)．-686-690 采用MOCVD方法,获得高质量的InP和较高质量的 GaxIn1-xAsyP1-y外延层,通过GaxIn1-xAsyP1-y／InP交替 生长制备出在工作波长为1．55μm时具有较高反射率的 分布布喇格反射镜。根据光在多层介质膜中传播的传递     

光学工艺

光学加工工艺与设备 TQ171．684 2004021543 激光抛光机理及应用=Mechanism and application of laser polishing[刊,中]／陈林(华南理工大学机械工程学院．广东,广州(510641)),杨永强∥表面技术．—2003,32(5)．—49-52 介绍了一种新型材料表面处理技术—激光抛光,对其机理、优点、应用实例等相关内容作了简要阐述。(严寒) TQ171．684 2004021544 轴对称非球面超精密磨削的几何模型研究=Study of geometric model of ultra-precision grinding optical axisymmetric aspheric surface[刊,中]／韩成顺(哈尔滨工业大学机电学院精密工程研究所．黑龙江。哈尔滨(150001)),董申…∥光学技术．—2003,29(3)．—329-333 根据轴对称非球面的轴对称性采用了加工简便的二轴联动超精密磨床．给出了NC加工中的砂轮中心位置计     

光学相关论题 大气光学

P401 2005021584 大气折射和色散对激光传输的影响=Effect of atmospher- ic refraction and chromatic dispersion on laser transmission [刊,中]／李双刚(电子工程学院光电子教研室．安徽,合肥 (230037)),聂劲松…//量子电子学报．-2004,21(5).- 679-682 建立了大气层折射模型,并给出了在不同仰角时,用 可见光(0．55 μm)和红外线(4 μm)进行瞄准,用CO2激光     

光学工艺 光学加工工艺与设备

TQ171．683 2005053948 KDP晶体塑性域超精密切削加工过程仿真=Simulation of ultra-precision cutting process of KDP crystal in ductile mode[刊,中]／陈明君(哈尔滨工业大学精密工程研究所． 黑龙江,哈尔滨(150001)),王景贺…∥光电工程．-2005, 32(5)．-69-72 提出了压痕实验与有限元仿真结合的方法。它采用 压痕深度与有限元仿真深度进行对比,可求解出KDP晶 体的塑性特性参数。建立了KDP晶体塑性域切削的有限 元模型,仿真研究了切削参数对KDP晶体表面形成过程 的影响。结果表明,在刀具前角为-40°左右时,工件表面 质量可达到最佳值。研究还发现,当刀具刃口半径为80 nm时,其能够产生切屑的最小切削厚度在10～30 nm之 间,此时法向切削力与主切削力之比为0．96,该结论对 KDP晶体超光滑表面的获取有着重要指导意义。图6参 6(严寒)     

光学测试

光学元件测试与设备TH7062006021574高精度大口径平面镜面形角差法测试探究=High preci-sion large flat mirror measurement by angle difference tes-ting[会,中]/马冬梅(中科院长春光机所检测中心.吉林,长春(130033)),孙军月…∥中国仪器仪表学会2005年第五届精密工程学术研讨会.—中国,深圳,2005,11.—121-126研究了一种集高精度自准直仪与五棱镜于一体,采用角差法(角度变化量测试),实现大口径平面镜垂直状态下面形测试的方法。阐述了测试装置的设计思想,对影响面形轮廓测试精度的因素进行了讨论。大口径平面镜面形的变化可通过其各点…     

光学工艺 光学加工工艺与设备

TN305．2 2006065453红外材料硅透镜加工工艺研究=Fabrication technology of IR Si lenses[刊,中]/徐岩(中国空空导弹研究院．河南,洛阳(471009)),李善武…//红外与激光工程．—2006,35 (3)．—359-361,370介绍了单晶硅材料加工透镜的工艺过程,着重研究了硅透镜的抛光技术,通过使用不同的抛光粉及抛光模层材料,找到了加工硅透镜的最佳工艺匹配条件。实验结果表     

光学工艺 微细加工技术与设备

TN305．7 2005053954 光刻工艺中缺陷来源的分析=Analysis on defect sources in photolithographic process[刊,中]／邓涛(重庆光电技术 研究所．重庆(400060)),李平…∥半导体光电．-2005, 26(3)．-229-231 对半导体集成电路和器件制作过程中光刻工艺产生 的各种缺陷种类及来源进行了集中分析,提出了一些减少 或消除这些缺陷的办法和措施。图1(于晓光) TN305．7 2005053955 用完全非共振光驻波聚焦原子制作纳米结构分析=Anal-     

光学工艺 光学加工工艺与设备

TH706 2005043142 轻量化碳化硅反射镜支撑方案分析=Analysis on support structure of lightweight SiC reflecting mirror[刊,中]／黄启泰(苏州大学现代光学技术研究所,江苏,苏州(215006)), 余景池／／光学技术,-2005,31(2),-252-255,258 讨论了轻量化碳化硅反射镜的支撑方案。利用有限元力学分析方法,对大口径轻量化主镜进行了在两种工况下的支撑方案分析和优化。通过运用最小二乘法对支撑后的镜面进行拟合,使两种工况下的主镜面形变化的均方差均在λ／60(λ=632．8 nm)之内,满足了实际的工程要求。图7表2参4(杨妹清)     

光学应用 光学航空、航天应用

V241.592006054794一种硅微陀螺的动态校零方法=Azero-calibration methodfor micro-machined silicon gyro[刊,中]/潘金艳(西安科技大学电控学院.陕西,西安(710056)),徐苛杰…//压电与声光.—2006,28(1).—123-126针对ADRX150硅微陀螺的零位漂移特性,提出了一种硅微陀螺的校零方法,分析了校零原理及误差主要来源,并论述了采用FPGA实现校零和误差补偿的技术方案,给出了试验结果数据。该校零技术有效地补偿了AD-RX150型硅微陀螺的零位重复性和稳定性,推广了AD-RX150硅微陀螺的应用范围。图1表1参7(严寒)V241.592006054795旋转载体用…     

信息光学 光学滤波与频谱分析

O438 2005053466 高分辨飞秒光学相干断层成像系统=High resolution op- tical coherence tomography using femtosecond Ti:Al2O3 laser[刊,中]／贾亚青(南开大学现代光学研究所,光电信 息技术科学教育部重点实验室．天津(300071)),梁艳梅… ∥光电子·激光．-2005,16(4)．-409-412 建立了飞秒激光自由空间光学相干断层成像(OCT) 系统,给出了该系统的初步实验结果。系统的光源为掺Ti 蓝宝石锁模激光器,输出脉宽<50 fs,中心波长为800 nm, 谱宽约为40 nm,飞秒OCT所达到的纵向分辨率为8μm, 横向分辨率为7．6μm,并用于飞秒激光微加工样品表面轮 廓的检测。图5参9(严寒)     

光学工艺 微细加工技术与设备

TN305．7 2005064472 超厚SU-8负胶高深宽比结构及工艺研究=Process study of high-aspect-ratio ultrathick SU-8 microstrUCt ure[刊, 中]/张金娅(上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜 与微细技术教育部重点实验室．上海(200030)),陈迪…∥ 功能材料与器件学报．-2005,11(2)．-251-254 采用新型SU-8光刻胶在UV-LIGA技术基础上制备 了各种高深宽比MEMS微结构,研究了热处理和曝光两 个重要因素对高深宽比微结构的影响,解决了微结构的开 裂和倒塌等问题,优化了SU-8胶工艺,获得了最大深宽比 为27:1的微结构。图6表1参7(于晓光)     

大口径平面镜快速瑞奇-康芒测量法研究北大核心CSCD

瑞奇-康芒法是用小口径干涉仪检测大口径平面镜的主要方法之一。通过分析瑞奇-康芒法中球面参考镜半径、平面镜位置和瑞奇角误差对测量精度的影响,给出了3个参数的选择方法。针对瑞奇-康芒法测量时误差分离导致的测量效率低的问题,提出适用于加工过程的快速瑞奇-康芒测量法,仿真模拟该方法下被测平面镜位置、角度等定位误差对测量结果的影响,并设计实验对比验证。该方法与直测法测量间的最大偏差峰-谷值(PV)为0.0151μm,均方根(RMS)为0.0036μm,能够有效满足加工过程中面形快速测量需求。     

光学工艺 光学加工工艺与设备

TH703 2005021527 非球面最适球面的确定方法-三点法=Determination of aspheric reference sphere by tri-point method[刊,中]／王红 军(西安工业学院光电科学与工程学院.陕西,西安 (710032)),田爱玲…//应用光学．-2004,25(4).-63-65 根据非球面生产的实际情况,指出非球面最适球面的 确定方法,详细分析最适球面的计算方法,并对一抛物面 进行了实倒计算。通过与最小二乘法的计算结果比较,指     

光学工艺 微细加工技术与设备

TN305 2005010726 全数字化激光直写转台系统=An all-digital rotating platform system for laser direct writer[刊,中]／梁宜勇(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室．浙江,杭州(310027))∥光电工程．-2004,31(5)．-1-3,10 为提高极坐标激光直写设备的性能,设计了全数字化的转台系统,增强了与平台、调焦、光强系统的同步。提出数字锁相积分、可编程PID控制及变周期稳速判据等概念,并应用于转台控制器设计。配合改进的快速光强调制系统,使极坐标激光直写设备具备制作精确环、任意孤和变宽线条的能力。图5参5(严寒)     

光学工艺 光学加工工艺与设备

TN305.2 2007054867pH值对铌酸锂晶片抛光速率及抛光表面的影响=Effectof pHon polishing velocity and glazed surface of LN wafer[刊,中]/武晓玲(河北工业大学微电子研究所.天津(300130)) ,刘玉岭…//半导体技术.? 2007 , 32(1) .?37-39采用化学机械抛光方法,自制碱性抛光液     

光学工艺

光学加工工艺与设备TQ171.652007021855计算机控制光学表面成形法初值的确定=Determinationof initial value of computer controlled optical surfacing[刊,中]/陆永贵(中科院长春光机所.吉林,长春(130033)),杨建东//光学技术.-2006,32(6).-939-940,943介绍了计算机控制光学表面成形法的原理,分析了几种非球面度的测量方法,研究了非球面度的不同计算方法对采用计算机控制光学表面成形法加工非球面的影响。从光学零件加工的角度对计算机控制光学表面成形法初值的确定进行了探讨。图1参5(杨妹清)TQ171.652007021856子孔径拼接法检验大口径…