| V形槽硅微通道冷却器研制 |
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| 引用本文： | 李奇峰,吕文强,武德勇,唐淳.V形槽硅微通道冷却器研制[J].强激光与粒子束,2005,17(Z1):114-116. |
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| 作者姓名： | 李奇峰 吕文强 武德勇 唐淳 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院,应用电子学研究所,四川,绵阳,621900 |
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| 基金项目： | 中国工程物理研究院基金资助课题 |
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| 摘 要： | 报道了V形槽硅微通道冷却器的结构和主要制作工艺,研制了冷却器样品.性能测试结果表明冷却器在供水压力为2×105Pa时,封装面热阻尼系数为 0.051 ℃·cm2/W,能够用于封装峰值功率密度达到1 kW/cm2、工作占空比大于10%的激光二极管面阵.其冷却能力与数值模拟结果较吻合,尚存在流量较小的问题,原因可能在于导流槽内存在较大的水头损失,同时与导流槽的结构有关.
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| 关 键 词： | V形槽 硅微通道冷却器 热阻 激光二极管面阵 |
| 文章编号： | 1001-4322(2005)S0-0114-03 |
| 修稿时间： | 2004年11月22 |
Fabrication of V-shaped silicon microchannel cooler |
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| LI Qi-feng,L Wen-qiang,WU De-yong,TANG Chun.Fabrication of V-shaped silicon microchannel cooler[J].High Power Laser and Particle Beams,2005,17(Z1):114-116. |
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| Authors: | LI Qi-feng L Wen-qiang WU De-yong TANG Chun |
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| Affiliation: | LI Qi-feng,L(U) Wen-qiang,WU De-yong,TANG Chun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | V shaped grooves Silicon microchannel cooler Thermal impedance Laser diode arrays |
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