| 硅双极型高速工艺和与其相容的硅PIN探测器 |
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| 引用本文： | 余宽豪,刘毓成,陈学良. 硅双极型高速工艺和与其相容的硅PIN探测器[J]. 半导体光电, 1995, 16(3): 265-268 |
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| 作者姓名： | 余宽豪 刘毓成 陈学良 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所微电子学分部 |
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| 摘 要： | 文章描述硅双极高速工艺，和一种能与双极工艺相容的硅ＰＩＮ探测器的结构及设计，从而提出一套易于实现两者集成的相容工艺。研制的单片集成光接收机，其中硅ＰＩＮ探测器的光电响应为０．４３Ａ／Ｗ，整机的响应度为４．４×１０３Ｖ／Ｗ，工作频率２５０ＭＨｚ。
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| 关 键 词： | 光电子集成电路 双极晶体管 探测器 硅 |
Si bipolar high-speed process and its compatible Si-PIN detector |
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| YU Kuanhao,LIU Yucheng,CHEN Xueling. Si bipolar high-speed process and its compatible Si-PIN detector[J]. Semiconductor Optoelectronics, 1995, 16(3): 265-268 |
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| Authors: | YU Kuanhao LIU Yucheng CHEN Xueling |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Semiconductor Technology OEIC Bipolar Transistor Detector |
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