| 利用水平热壁CVD法生长的3C-SiC/Si的均匀性 |
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| 引用本文： | 李家业,赵永梅,刘兴昉,孙国胜,罗木昌,王雷,赵万顺,曾一平,李晋闽.利用水平热壁CVD法生长的3C-SiC/Si的均匀性[J].半导体学报,2007,28(1):1-4. |
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| 作者姓名： | 李家业 赵永梅 刘兴昉 孙国胜 罗木昌 王雷 赵万顺 曾一平 李晋闽 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083 |
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| 摘 要： | 利用新改进的水平低压热壁CVD设备,改变生长时的压力和H2流速,在50mm的Si(100)和(111)衬底上获得了3C-SiC外延膜,并对外延膜的结构均匀性、电学均匀性和厚度均匀性进行了分析.X射线衍射图中出现了强的3C-SiC的特征峰,其中3C-SiC的(200)和(111)峰的半高宽分别为0.41°和0.21°.3C-SiC外延膜方块电阻的均匀性最好可达2.15%.厚度均匀性可达±5.7%(σ/mean值).
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| 关 键 词： | 3C-SiC 异质外延生长 水平热壁CVD 均匀性 |
| 文章编号： | 0253-4177(2007)01-0001-04 |
| 收稿时间： | 5/30/2006 3:20:24 PM |
| 修稿时间： | 7/12/2006 5:05:30 PM |
Uniformity Investigation in 3C-SiC Epitaxial Layers Grown on Si Substrates by Horizontal Hot-Wall CVD |
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| Li Jiaye,Zhao Yongmei,Liu Xingfang,Sun Guosheng,Luo Muchang,Wang Lei,Zhao Wanshun,Zeng Yiping and Li Jinmin.Uniformity Investigation in 3C-SiC Epitaxial Layers Grown on Si Substrates by Horizontal Hot-Wall CVD[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(1):1-4. |
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| Authors: | Li Jiaye Zhao Yongmei Liu Xingfang Sun Guosheng Luo Muchang Wang Lei Zhao Wanshun Zeng Yiping and Li Jinmin |
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| Institution: | Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | 3C-SiC heteroepitaxial growth horizontal hot-wall CVD uniformity |
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