| 金属颗粒调制的复合碳纳米管电子器件的构建和特性测量 |
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| 引用本文： | 彭练矛,陈清,梁学磊,车仁超,夏洋,薛增泉,吴全德.金属颗粒调制的复合碳纳米管电子器件的构建和特性测量[J].半导体学报,2003,24(z1):170-174. |
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| 作者姓名： | 彭练矛 陈清 梁学磊 车仁超 夏洋 薛增泉 吴全德 |
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| 作者单位： | 北京大学电子学系,北京,100871;中国科学院物理研究所电子显微镜实验室,北京,100080,北京大学电子学系,北京,100871,中国科学院物理研究所电子显微镜实验室,北京,100080,中国科学院微电子中心,北京,100029 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划);001CB610502; |
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| 摘 要： | 利用传统微电子加工与纳米组装技术构建出了金属颗粒调制的复合碳纳米管场效应及单电子器件.电子输运性能测量结果表明这类复合碳纳米管电子器件具有一些不同于一般碳纳米管电子器件的独特性能.
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| 关 键 词： | 纳米电子学 纳米电子器件 单电子器件 纳米科技 |
| 文章编号： | 0253-4177(2003)0-0170-05 |
| 修稿时间： | 2002年9月16日 |
Fabrication and Characteristics of Metal Particle Modulated Carbon Nanotube Field-effect and Single Electron Transistors |
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