冷坩埚法制备α-Al2O3多晶材料的工艺参数研究 |
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作者姓名: | 王娇 李红军 弓巧侠 徐晓东 张道标 何雪梅 徐军 |
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作者单位: | 1. 郑州大学物理工程学院,郑州450001;中国科学院上海硅酸盐研究所协鑫蓝宝石晶体材料研发中心,上海201800 2. 中国科学院上海硅酸盐研究所协鑫蓝宝石晶体材料研发中心,上海,201800 3. 郑州大学物理工程学院,郑州,450001 4. 中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050 |
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摘 要: | 采用冷坩埚法制备α-Al2O3多晶料,研究了引燃剂的形态、坩埚下降的速率、加料速率等工艺参数变化对所成形晶碇质量的影响。结果表明:采用的引燃剂为高纯铝片,坩埚下降速率为10 mm/h,采取加料速率为1 kg/min的最佳工艺条件,可制备出高致密度、高纯度的α-Al2O3多晶料。采用排水法测密度,用电感耦合等离子体原子发射光谱仪(ICP-OES)对原料粉和多晶块料中Ca、Fe、Na、Mg、K、Ti、Si、Cr等元素进行测定。结果表明:多晶块料中白色可用部分Ca、Fe、Na、K、Ti、Si、Cr等元素明显降低,说明采用冷坩埚法制备的氧化铝多晶料对原料粉具有一定的提纯作用,并且测量其堆积密度为2.6~2.8 g/cm3。因此采用冷坩埚法制备的α-Al2O3多晶料符合目前生长大尺寸蓝宝石对原料的要求。
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关 键 词: | 冷坩埚法 α-Al2O3 多晶制备 |
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