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砷化镓液封切克劳斯基生长
引用本文:
P. C. Leung,W. P. Allred,孙冈年.砷化镓液封切克劳斯基生长[J].微纳电子技术,1974(7).
作者姓名:
P. C. Leung
W. P. Allred
孙冈年
摘 要:
本文描述了一种用熔融B_2O_3作为提拉和旋转密封的砷化镓切克劳斯基生长的新技术。这系统比以往几种技术有某些优点。最吸引人的方面是本系统十分简单,结构经济以及容易操作。
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