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Identifizierung von Objektverunreinigungen mit Feinbereichsbeugung
Authors:E Fuchs
Institution:(1) Werkstoff-Hauptlaboratorium der Siemens & Halske AG, Karlsruhe
Abstract:Zusammenfassung Die Feinbereichsbeugungseinrichtung am Elektronenmikroskop erlaubt den Nachweis und gegebenenfalls die Identifizierung von Substanzmengen bis herab zu etwa 10–14 g. Durch diese große Empfindlichkeit können Spuren von Objektverunreinigungen bei analytischen Untersuchungen miterfaßt werden und unter Umständen fälschlich als Objekteinzelheiten angesprochen werden. Staubteilchen aus der Luft und Teilchen, die durch die Präparationstechnik auf die Objekte gelangen, wurden mit Feinbereichsbeugung bei Untersuchung verschiedener Präparationsverfahren identifiziert.
Summary The fine region diffraction device on the electron microscope permits the detection and if necessary the identification of amounts of material down to around 10–14g. Because of this extreme sensitivity, traces of object impurities can be included along with the specimen and under some cicumstances falsely ascribed to object details. Dust particles from the air and particles, which arrive on the objects through the preparation technique, are identified with fine region diffraction when studying various preparation procedures.

Résumé Le dispositif pour fournir des images de diffraction de très petites portions de l'objet utilité en microscopie électronique permet de mettre en évidence et, éventuellement d'identifier, des quantités de substances jusqu'à une limite inférieure d'environ 10–14g. Il en résulte que lors de recherches analytiques, cette sensibilité élevée permet de déterminer des traces de souillures et de les attribuer faussement à des particularités des objets examinés. Mais grâce à la méthode de diffraction utilitée il est possible d'identifier les particules de poussières qui proviennent de l'air ainsi que celles qui proviennent des techniques de préparation de l'objet mises en ceuvre, au cours de recherches portant sur différentes de ces dernières.
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