基于加权最小二乘法的干涉图校准方法

针对现有干涉图校准方法的不足,提出了一种基于加权最小二乘法的干涉图校准方法。根据干涉图中标准件边缘与干涉条纹边缘之间的差异,用合适大小的掩模对标准件的边缘进行初步判定和提取,再利用加权最小二乘法对提取出的边缘进行精确定位。通过计算标准件中已知尺寸部分在干涉图中所占据的像素数目,求出每个像素代表的实际距离,完成校准。实验表明,该方法的计算耗时较霍夫变换法减少一半,定位精度小于1个像素,且适用于不同对比度的干涉图,具有很强的实用性。