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| 光纤通信 | |
| 摘 要： | TN915.05 2004064421 马赫-曾德干涉型波分复用器的容差分析=Tolerance analyses of the Mach-Zehnder interferometric demutiplexer刊,中]/夏君磊(中科院半导体所光电子研究发展中心.北京(100083)),郜定山…∥光电子·激光.—2004,15(6).—645-648 通过耦合模理论分析了马赫-曾德干涉(MZI)型波分复用器各结构参数工艺误差对器件串扰的影响,比较了各结构参数的工艺容差性。结果表明。如果串扰要求在—30dB以下,则波导臂长差的容差性为1％,耦合长度的容差性为2％,波导宽度的容差性较好;容差达到0.6μm时,串扰仍然在—58dB;波导间距对工艺精度要求最高, |
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