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| 移相式泰曼型CO_2激光干涉仪的研究 | |
| 引用本文： | 贺俊,王青,高志山,陈磊.移相式泰曼型CO_2激光干涉仪的研究[J].红外与激光工程,2008(Z1). |
| 作者姓名： | 贺俊 王青 高志山 陈磊 |
| 作者单位： | 南京理工大学电子工程与光电技术学院 南京北方信息产业集团 |
| 摘 要： | 研究了移相式泰曼型红外干涉仪的工作原理以及仪器的整体设计,讨论了透射光学元件的材料选取问题,对仪器的扩束系统、成像系统进行了理论分析和设计,以及对光源和红外探测器等一些关键器件进行了设计分析。解决了红外干涉仪调试这一技术难点。测量了精磨粗糙平面和球面的面形,结果表明:粗糙平面的面形偏差为0.047λ(PV),而粗糙球面的面形偏差则为0.420λ(PV)(λ=10.6μm)。 |
| 关 键 词： | 红外干涉仪 调试 测量 |
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