Ar+离子束刻蚀制作凸面闪耀光栅 |
| |
引用本文: | 刘全,吴建宏,汪海宾.Ar+离子束刻蚀制作凸面闪耀光栅[J].光学学报,2011(4):49-53. |
| |
作者姓名: | 刘全 吴建宏 汪海宾 |
| |
摘 要: | 凸面闪耀光栅是研制高光谱分辨率超光谱成像系统的关键器件之一.由于要求的闪耀角度一般较小,制作工艺难度大,其衍射效率与理论值有较大差距,一直制约其应用.针对上述问题与难点进行了分析,通过光刻胶光栅掩模制作和Ar<'+>离子束刻蚀等工艺制作了凸面闪耀光栅.针对离子束大掠入射刻蚀凸球面时槽形闪耀角不易一致的难题,利用转动扫描...
|
关 键 词: | 衍射光栅 凸面闪耀光栅 全息光刻 Ar+离子束刻蚀 衍射效率 |
|
|