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| 多结级联垂直腔面发射激光器失效分析 | |
| 作者姓名： | 刘畅 肖垚 刘恒 邓国亮 苗霈 王俊 |
| 作者单位： | 1. 四川大学电子信息学院;2. 苏州长光华芯光电技术股份有限公司 |
| 摘 要： | 对自主研发的940 nm大功率三结垂直腔面发射激光器(VCSEL)单点器件的高温高电流老化失效后的器件进行了失效分析研究.首先,通过热阻测试确定了加速老化实验的结温,并计算了老化加速因子为104.随后,对老化过程中产生的失效器件进行失效分析.通过老化前后器件L-I-V、正反向V-I、光学及红外外观、近场光斑及透射电子显... |
| 关 键 词： | 垂直腔面发射激光器 多结 失效分析 可靠性 |