| 面向人工耳蜗的柔性生物微电极稳定性研究 |
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| 引用本文： | 包步峰,吉博文,王明浩,郭哲俊,杨斌,陈翔,王晓林,刘景全.面向人工耳蜗的柔性生物微电极稳定性研究[J].微电子学,2018,48(3):416-420. |
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| 作者姓名： | 包步峰 吉博文 王明浩 郭哲俊 杨斌 陈翔 王晓林 刘景全 |
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| 作者单位： | 上海交通大学 微纳电子学系 微米/纳米加工技术国家级重点实验室, 上海 200240,上海交通大学 微纳电子学系 微米/纳米加工技术国家级重点实验室, 上海 200240,上海交通大学 微纳电子学系 微米/纳米加工技术国家级重点实验室, 上海 200240,上海交通大学 微纳电子学系 微米/纳米加工技术国家级重点实验室, 上海 200240,上海交通大学 微纳电子学系 微米/纳米加工技术国家级重点实验室, 上海 200240,上海交通大学 微纳电子学系 微米/纳米加工技术国家级重点实验室, 上海 200240,上海交通大学 微纳电子学系 微米/纳米加工技术国家级重点实验室, 上海 200240,上海交通大学 微纳电子学系 微米/纳米加工技术国家级重点实验室, 上海 200240 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51475307)；装备预研教育部联合基金资助项目(6141A022606) |
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| 摘 要： | 提出了一种面向人工耳蜗的基于聚酰亚胺的柔性微电极阵列。采用薄膜微加工工艺,形成金属-聚酰亚胺-金属三明治结构。为研究器件的长期稳定性,进行了加速老化实验。将器件放置在质量分数为0.9%的生理盐水中,并在恒温97 ℃下浸泡6个月后,微电极的平均电荷存储能力由10.34 mC/cm2下降到2.44 mC/cm2,1 kHz下的平均阻抗则从3.66 kΩ上升到5.76 kΩ。实验结果表明,微电极的电化学性能没有受到较大影响。根据实验结果,可推算出在人体温度(37 ℃)的情况下,器件工作寿命可达32年。
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| 关 键 词： | 聚酰亚胺 加速老化 人工耳蜗 柔性电极 |
| 收稿时间： | 2017/8/27 0:00:00 |
Research on Stability of Flexible Biological Microelectrode for Cochlear Implant |
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| BAO Bufeng,JI Bowen,WANG Minghao,GUO Zhejun,YANG Bin,CHEN Xiang,WANG Xiaolin and LIU Jingquan.Research on Stability of Flexible Biological Microelectrode for Cochlear Implant[J].Microelectronics,2018,48(3):416-420. |
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| Authors: | BAO Bufeng JI Bowen WANG Minghao GUO Zhejun YANG Bin CHEN Xiang WANG Xiaolin and LIU Jingquan |
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| Institution: | National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano Electronics, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, P. R. China,National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano Electronics, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, P. R. China,National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano Electronics, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, P. R. China,National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano Electronics, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, P. R. China,National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano Electronics, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, P. R. China,National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano Electronics, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, P. R. China,National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano Electronics, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, P. R. China and National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano Electronics, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240, P. R. China |
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