| 基于莫尔信号的精密位移测量与控制的研究 |
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| 引用本文： | 张金龙,余玲玲,内田敬久,刘京南.基于莫尔信号的精密位移测量与控制的研究[J].光学技术,2005,31(5):701-703. |
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| 作者姓名： | 张金龙 余玲玲 内田敬久 刘京南 |
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| 作者单位： | 南京师范大学,电气与自动化工程学院,南京,210042;东南大学自动控制系,南京,210096;南京师范大学,电气与自动化工程学院,南京,210042;日本爱知工业大学,情报工学科,爱知,丰田,470-0392 |
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| 基金项目： | 江苏省高校自然科学基金资助项目(04KJB510073) |
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| 摘 要： | 应用光衍射理论分析了一种纳米级位移分辨率的双级衍射光栅测量系统,建立了衍射莫尔信号与对应位移的数学模型,并通过计算机仿真对莫尔信号的位移特性进行了研究。在此基础上构建了一套精密位移测量与控制装置,取差动零次激光莫尔信号为控制信号,由微机控制实现高精度位移检测及全自动精密定位。实验结果表明,基于激光莫尔信号的精密检测与控制装置可获得得5nm的位移分辨率及±0.4μm的定位精度。
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| 关 键 词： | 光学测量 莫尔信号 精密定位 自动控制 |
| 文章编号： | 1002-1582(2005)05-0701-03 |
| 修稿时间： | 2004年7月16日 |
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