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| 双质量块MEMS陀螺内互联引线的设计与实现 | |
| 引用本文： | 张方媛,牛昊彬,闫鑫,陈旭辉,李关红.双质量块MEMS陀螺内互联引线的设计与实现[J].中国惯性技术学报,2021(3):394-397,405. |
| 作者姓名： | 张方媛 牛昊彬 闫鑫 陈旭辉 李关红 |
| 摘 要： | 为了进一步提高微机电(MEMS)陀螺在体积、重量和功耗上的优势,开展了MEMS双质量块陀螺密封腔内互联引线设计,该设计增大了陀螺的有效设计面积,减少了芯片体积,实现复杂信号引线布线.设计了齿状互联引线接口结构,分别选用Al和AlCu作为互联引线材料进行对比试验,同时对比分析了电极厚度对键合面和导通性的影响.最终确定合适... |
| 关 键 词： | MEMS陀螺 双质量块 内互联 品质因数 |
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