| 中能离子注入机用静电吸盘 |
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| 引用本文： | 肖仁耀,孙雪平.中能离子注入机用静电吸盘[J].微细加工技术,2007(6):5-7. |
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| 作者姓名： | 肖仁耀 孙雪平 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙,410111 |
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| 摘 要： | 简要介绍了静电吸盘的工作原理,理论分析了六相静电吸盘的工作模式,对静电吸盘进行了结构设计和制作工艺研究,并对静电吸盘的工艺性能尤其是静电吸盘在不同压力的氮气冷却性能进行了研究.实验结果表明.静电吸持电压的频率为30 Hz时最佳,这时电压一般为0.5 kV-1 kv,所需电源的功率较小.
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| 关 键 词： | 静电吸附 六相静电吸盘 离子注入 |
| 文章编号： | 1003-8213(2007)06-0005-03 |
| 修稿时间： | 2007年12月4日 |
Electrostatic Chuck in Medium Energy Ion Implanter |
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| XIAO Ren-yao,SUN Xue-ping.Electrostatic Chuck in Medium Energy Ion Implanter[J].Microfabrication Technology,2007(6):5-7. |
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| Authors: | XIAO Ren-yao SUN Xue-ping |
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