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| 金属-绝缘体-半导体器件红外探测机理研究 | |
| 作者姓名： | 刘坤 褚君浩 陈诗伟 赵军 汤定元 |
| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海200083 |
| 摘 要： | 建立金属-绝缘体-半导体器件反型层子能带结构的势理论模型,并由此模型研究了金属-绝缘体-半导体器件红外探测器的工作机理及制作的关键.关键词： |
| 关 键 词： | MIS 红外探测器 |
| 收稿时间： | 1994-05-19 |
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