分割电极片状压电致动器——(二)位移特性及狭缝宽度对其影响的实验研究 |
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引用本文: | 王志宏,王三红,张良莹,姚熹.分割电极片状压电致动器——(二)位移特性及狭缝宽度对其影响的实验研究[J].压电与声光,1998(6). |
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作者姓名: | 王志宏 王三红 张良莹 姚熹 |
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作者单位: | 西安交通大学电子材料与器件研究所 |
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基金项目: | 高等学校博士学科点专项科研基金 |
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摘 要: | 研究了悬臂梁式分割电极片状压电致动器的位移特性。理论分析表明,分割电极狭缝宽度会减小致动器自由端的位移输出,但当狭缝宽度小于致动器电极宽度的10%时,可忽略狭缝宽度的影响。致动器端部位移的测试结果大于理论计算值。与现有磁头悬浮臂尺寸相近的致动器,在20V~50V的电压驱动下均可获得1μm~2μm的致动位移。对9850道/厘米的密度磁盘,该位移能覆盖至少一个磁道宽度,满足磁头定位两级伺服系统对第二级致动器位移的基本要求。
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关 键 词: | 致动器,压电陶瓷,分割电极,端部致动位移 |
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