| 四硼酸锂在高频窄带滤波器上的应用探讨 |
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| 引用本文： | 杨丽萍,万飞,杨思川,黄歆.四硼酸锂在高频窄带滤波器上的应用探讨[J].压电与声光,2014,36(1):27-31. |
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| 作者姓名： | 杨丽萍 万飞 杨思川 黄歆 |
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| 作者单位： | 北京中科飞鸿科技有限公司，北京 100095 |
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| 摘 要： | 该文采用四硼酸锂晶片制作了高频(1.1GHz)声表面波滤波器,插入损耗3.7dB,带宽3.8 MHz,带外抑制大于50dB。阐述了器件的设计及工艺过程,对晶片表面处理、器件制作、SiO2保护膜、器件的温度特性等进行了实验分析,并讨论了在器件设计中需考虑的因素。实验结果表明,采用干法刻蚀工艺能获得良好的叉指电极形貌。在器件表面加镀SiO2保护膜能提高器件可靠性及温度稳定性。
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| 关 键 词： | 四硼酸锂 声表面波滤波器 干法刻蚀 SiO2 温度特性 |
Discussion on Application of LBO for High frequency and Narrow band Filters |
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| YANG Liping,WAN Fei,YANG Sichuan and HUANG Xin.Discussion on Application of LBO for High frequency and Narrow band Filters[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2014,36(1):27-31. |
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| Authors: | YANG Liping WAN Fei YANG Sichuan and HUANG Xin |
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| Institution: | Beijing Zhongke Feihong Science & Technology Co.,LTD,Beijing 100095,China |
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| Keywords: | |
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