| FBAR技术的敏感应用与发展研究 |
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| 引用本文： | 何杰,袁小平,刘荣贵,许昕,李昕,袁媛,毛海燕,马晋毅.FBAR技术的敏感应用与发展研究[J].压电与声光,2014,36(1):19-26. |
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| 作者姓名： | 何杰 袁小平 刘荣贵 许昕 李昕 袁媛 毛海燕 马晋毅 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第26研究所，重庆 400060 |
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| 摘 要： | 薄膜声体波谐振器(FBAR)技术以其频率高,品质因数(Q)高,插入损耗低,与半导体集成电路(IC)工艺兼容等优良特性在无线通信领域获得了广泛应用。基于FBAR技术的传感器具有灵敏度高,体积小,线性度好及易于集成等特点,符合目前传感器的微型化、智能化、信息化的主流发展趋势。该文对FBAR传感器的研究现状、发展动向等方面进行了总结并对石英晶体微天平(QCM)、声表面波(SAW)和FBAR这几种声波质量传感器进行了比较。最后对FBAR传感器技术作了简要评述并讨论了FBAR传感器未来的发展趋势。
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| 关 键 词： | 薄膜声体波谐振器(FBAR) FBAR质量传感器 FBAR物理传感器 声波质量传感器 |
Study on Applications and Developments of FBAR Sensors |
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| HE Jie,YUAN Xiaoping,LIU Ronggui,XU Xin,LI Xin,YUAN Yuan,MAO Haiyan and MA Jinyi.Study on Applications and Developments of FBAR Sensors[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2014,36(1):19-26. |
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| Authors: | HE Jie YUAN Xiaoping LIU Ronggui XU Xin LI Xin YUAN Yuan MAO Haiyan and MA Jinyi |
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| Institution: | 26th Institute of China Electronics Technology Group Corporation,Chongqing 400060,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | FBAR FBAR mass sensor FBAR physical sensor acoustic wave mass sensor |
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