|
|||||
|
|
| 在线实时浓度监测减少环境压力，降低总体拥有成本 | |
| 作者姓名： | Ron Chiarello ;Noritsugu Ishida |
| 作者单位： | [1]Jetalon Solutions, Inc. [2]世伟洛克公司, Inc. |
| 摘 要： | 随着半导体制造业的不断发展，对现场浓度测量的需求也不断增加。化学品浓度细微变化都会对晶圆缺陷等级造成不良影响，最为重要的是会对产量产生影响。另外，减少液态化学品废弃物流，使其对环境的影响最小化面临着不断增长的压力。 |
| 关 键 词： | 环境压力 浓度监测 总体拥有成本 在线实时 液态化学品 半导体制造业 浓度测量 最小化 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |