| 基于自动调焦显微视觉的MEMS运动测量技术 |
| |
| 引用本文： | 郑汉卿,王伯雄,余超,罗秀芝. 基于自动调焦显微视觉的MEMS运动测量技术[J]. 清华大学学报(自然科学版), 2007, 47(2): 177-180 |
| |
| 作者姓名： | 郑汉卿 王伯雄 余超 罗秀芝 |
| |
| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084;清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084;清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084;清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
| |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
| |
| 摘 要： | 为了对微机电系统(MEMS)的机械动态性能进行测试,结合自动调焦、机器显微视觉和频闪照明成像等多项技术,设计了基于自动调焦显微视觉的MEMS动态测试系统,可进行MEMS平面运动和离面运动的测量。该文介绍了系统的设计组成和关键技术,并针对系统做了验证性实验。实验结果表明,平面亚像素位移算法的匹配精度可达1/50个像素,在系统25倍的放大倍率下,平面刚体运动测量分辨率达到7.2nm×8.3nm;自动调焦过程迅速,焦平面定位精确,离面运动测量分辨率达到0.1μm。
|
| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS) 显微视觉 自动调焦 频闪成像 亚像素算法 |
| 文章编号： | 1000-0054(2007)02-0177-04 |
| 修稿时间： | 2006-01-20 |
Motion measurement technique for MEMS devices based on autofocus and microvision |
| |
| ZHENG Hanqing,WANG Boxiong,YU Chao,LUO Xiuzhi. Motion measurement technique for MEMS devices based on autofocus and microvision[J]. Journal of Tsinghua University(Science and Technology), 2007, 47(2): 177-180 |
| |
| Authors: | ZHENG Hanqing WANG Boxiong YU Chao LUO Xiuzhi |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | micro-electro-mechanical systems (MEMS) microvision autofocus stroboscopic imaging subpixel algorithm |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
