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| 扫描探针显微镜的基础知识 | |
| 作者姓名： | 胡晓明 |
| 作者单位： | 中国科学院物理研究所, 北京100080 |
| 摘 要： | 本世纪80年代初,扫描探针显微镜(SPM)对硅表面第一次的实空间成象使整个世界为之震惊,现在扫描探针显微镜已在各行各业获得了广泛的应用,包括表面科学,常规表面粗糙度的分析及表面从原子级到微米级凸起的三维成象。 |
| 关 键 词： | 扫描探针显微镜 表面形貌 非接触式测量 隧穿电流 范德瓦尔斯力 样品间距 扫描器 毛细张力 样品表 扫描电容显微镜 |
| 收稿时间： | 1996-03-15 |
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