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| 用于红外焦平面的正方形孔径球面微透镜阵列研究 | |
| 作者姓名： | 孙艳军 冷雁冰 陈哲 董连和 |
| 作者单位： | 1.长春理工大学 光电工程学院,长春,130022 |
| 摘 要： | 针对目前红外焦平面光敏阵列中存在的占空比小、光能利用率低的实际问题,展开了正方形孔径球面微透镜阵列制作及其与红外焦平面阵列集成应用的研究.本文从红外焦平面光敏阵列特点入手,对比分析了正方形孔径相比于传统圆形孔径微透镜阵列在光能利用上的优势.提出正方形孔径微透镜阵列激光直写变剂量曝光制作技术,建立光刻胶曝光数学模型和正方形球面微透镜面型函数,以此为基础,编制直写设备变剂量曝光控制软件;利用长春理工大的学复合坐标激光直写系统和等离子刻蚀机进行相关工艺实验,制作了阵列256×256、单元尺寸40×40μm |
| 关 键 词： | 球面微透镜阵列 红外焦平面 正方形孔径 变剂量曝光 |
| 收稿时间： | 2011-10-18 |
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