| 纳米压痕法研究PZT压电薄膜的力学性能 |
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| 引用本文： | 蒋锐,胡小方,许晓慧,伍小平.纳米压痕法研究PZT压电薄膜的力学性能[J].实验力学,2007,22(6):575-580. |
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| 作者姓名： | 蒋锐 胡小方 许晓慧 伍小平 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学技术大学,中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230027
2. 中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,合肥,230027 |
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| 摘 要： | PZT压电薄膜的力学性能如弹性模量、硬度等对于MEMS器件的结构设计、结构响应特性、服役性能等尤为重要。薄膜材料由于尺寸效应、表面效应等的作用，力学性能与宏观块体材料有显著差异。本文用纳米压痕法获得了PZT压电薄膜的弹性模量和硬度，考察了基底的影响，分析了退火时间对于其力学性能的影响，以及硬度和压入深度之间的压痕尺度效应。
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| 关 键 词： | PZT压电薄膜 纳米压痕法 压痕尺度效应 |
| 文章编号： | 1001-4888（2007）06-0575-06 |
| 收稿时间： | 2007-01-11 |
| 修稿时间： | 2007-12-03 |
Study of Mechanical Properties of PZT Piezoelectric Film by Nano-indentation Technique |
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| JIANG Rui,HU Xiao-fang,XU Xiao-hui,WU Xiao-ping.Study of Mechanical Properties of PZT Piezoelectric Film by Nano-indentation Technique[J].Journal of Experimental Mechanics,2007,22(6):575-580. |
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| Authors: | JIANG Rui HU Xiao-fang XU Xiao-hui WU Xiao-ping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PZT piezoelectric films nano-indentation technique indentation size effect |
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