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| 双脉冲激光锡等离子体光源的碎屑动力学研究 | |
| 引用本文： | 刘超智,窦银萍,张龙,孙长凯,郝作强,林景全.双脉冲激光锡等离子体光源的碎屑动力学研究[J].光谱学与光谱分析,2014,35(1):44. |
| 作者姓名： | 刘超智 窦银萍 张龙 孙长凯 郝作强 林景全 |
| 作者单位： | 刘超智:长春理工大学理学院, 吉林 长春 130022 窦银萍:长春理工大学理学院, 吉林 长春 130022 张龙:长春理工大学理学院, 吉林 长春 130022 孙长凯:长春理工大学理学院, 吉林 长春 130022 郝作强:长春理工大学理学院, 吉林 长春 130022 林景全:长春理工大学理学院, 吉林 长春 130022 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(11274053, 11074027, 61178022, 11211120156), 教育部博士点基金项目(20122216120009, 20122216110007)和吉林省科技厅项目(20130522149JH)资助 |
| 摘 要： | 极紫外光刻是下一代大容量集成电路制造中最有发展前景的技术之一, 而碎屑的减缓及阻挡一直是极紫外光刻光源研究中亟需解决的关键问题。研究了双纳秒激光脉冲辐照锡靶产生的等离子体碎屑的动力学演化。结果表明, 等离子体碎屑强烈依赖于预脉冲的能量及其与主脉冲的时间延迟, 当预脉冲能量为30 mJ, 双脉冲时间间隔150 ns情况下, 大部分锡离子的能量从2.47 keV降低到0.40 keV, 降低了6.1倍, 碎屑得到了有效抑制。通过对碎屑动能角分布的测量, 发现此方法可以有效减缓全角度范围的激光锡等离子体碎屑, 并且越接近靶材法线方向, 碎屑的动能减少得越多。 |
| 关 键 词： | 等离子体碎屑 激光等离子体 双脉冲 |
| 收稿时间： | 2013/8/27 |
Research on the Dynamics of Ion Debris from Sn Plasma by Use of Dual Laser Pulses |
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| Abstract: | |
| Keywords: | Plasma debris Laser plasma Dual laser pulses |