| 光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响 |
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| 引用本文： | 秦富林,张尧禹,蔡盛,乔彦峰.光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响[J].中国光学与应用光学,2009,2(6):508-512. |
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| 作者姓名： | 秦富林 张尧禹 蔡盛 乔彦峰 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;中国科学院,研究生院,北京,100039
2. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 |
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| 摘 要： | 为了提高用莫尔条纹法测量扭转角的测量精度，分析了光栅周期不一致对扭转角测量误差的影响。从基于莫尔条纹法测量扭转角的原理出发，论述了光栅周期不一致与测量精度的关系，讨论了引起两光栅周期不一致的两个因素，即光栅刻划误差以及两光栅栅面不平行。理论分析表明，前者是引起光栅周期不一致的主要原因。当两光栅等效周期比值β＜1.001时，在±15′的测量范围内，选择光栅周期为50 μm,莫尔条纹宽度为1 400~1 800 μm时，光栅周期不一致引起的测量误差可以控制在1.6″之内。
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| 关 键 词： | 光栅周期不一致 莫尔条纹法 扭转角测量 |
| 收稿时间： | 2009-08-16 |
| 修稿时间： | 2009-11-07 |
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