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基于PIN光电二极管的微型一氧化氮化学发光传感器
引用本文:李杭,刘文清,姚路.基于PIN光电二极管的微型一氧化氮化学发光传感器[J].光学学报,2019,39(5):283-287.
作者姓名:李杭  刘文清  姚路
作者单位:中国科学院安徽光学精密机械研究所环境光学与技术重点实验室,安徽合肥230031;中国科学技术大学,安徽合肥230026;中国科学院安徽光学精密机械研究所环境光学与技术重点实验室,安徽合肥,230031
摘    要:以微型、低成本的PIN光电二极管为光电探测元件,研制了微型一氧化氮化学发光传感器;选取Si探测器和InGaAs探测器的5种光电元件,考察其与一氧化氮发光光谱响应及噪声的关系。结果表明:边长为1.2mm的正方形Si探测器响应灵敏,暗电流噪声低,信噪比最低;设计的小型光腔实现了微量一氧化氮(体积分数为2×10^-6~2×10^-4)的测量,线性度为0.9993;整个系统的响应时间为0.13s,传感器的质量小于50g,非常适合用于工业污染源一氧化氮气体的在线监测。

关 键 词:探测器  光电二极管  化学发光  一氧化氮  传感器

Miniature Chemiluminescence NO Sensor Based on PIN Photodiode
Li Hang,Liu Wenqing,Yao Lu.Miniature Chemiluminescence NO Sensor Based on PIN Photodiode[J].Acta Optica Sinica,2019,39(5):283-287.
Authors:Li Hang  Liu Wenqing  Yao Lu
Institution:(Key Laboratory of Environ mental Optics and Technology, Anhui Iiistiticte of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences, Hefei, Anhui 230031, China;University of Science and Technology of China , Hefei, Anhui 230026, China)
Abstract:Li Hang;Liu Wenqing;Yao Lu(Key Laboratory of Environ mental Optics and Technology, Anhui Iiistiticte of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences, Hefei, Anhui 230031, China;University of Science and Technology of China , Hefei, Anhui 230026, China)
Keywords:detectors  photodiode  chemiluminescence  nitric oxide  sensor
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