| 液浮法抛光优化技术 |
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| 引用本文： | 弥谦,秦琳,李宏,郭忠达.液浮法抛光优化技术[J].光学技术,2019,45(2):251-256. |
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| 作者姓名： | 弥谦 秦琳 李宏 郭忠达 |
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| 作者单位： | 西安工业大学陕西省光学先进制造工程技术研究中心,陕西西安,710021;西安工业大学陕西省光学先进制造工程技术研究中心,陕西西安,710021;西安工业大学陕西省光学先进制造工程技术研究中心,陕西西安,710021;西安工业大学陕西省光学先进制造工程技术研究中心,陕西西安,710021 |
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| 基金项目： | 装备发展部共用技术项目;陕西省自然科学基础研究计划;陕西省教育厅重点实验室科研计划项目;陕西省科技厅重点研发计划项目 |
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| 摘 要： | 一种新的光学元件表面抛光工艺—液浮抛光技术,采用具有剪切增稠效应的非牛顿流体作为抛光液,流体在抛光区域形成液膜,实现对工件表面高效、低损伤的加工。以材料去除量以及工件表面粗糙度作为评价指标,利用正交实验法对K9玻璃抛光过程中的四个关键影响因素:磨粒质量分数、磨头入口压强、磨头重力、剪切增稠相中分散相的质量分数进行实验分析,得到一组最优参数组合以及各主要影响因素对抛光效果的影响程度。对于工件表面粗糙度,采用极差法得出各因素对整个工件的影响程度的主次顺序为(主→次):二氧化硅质量分数、磨头重力、入口压强、磨粒质量分数,最佳参数组合为:磨粒氧化铈质量分数为14%,入口压强为0.3MPa,剪切增稠相中分散相二氧化硅质量分数为9%,磨头重力为34.3kg;对于材料去除量分布,经过90min的抛光,其平均去除量为0.2μm。
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| 关 键 词： | 光学元件加工 液浮抛光法 剪切增稠液体 正交实验 极值法 |
Optimization technology of liquid float polishing |
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| Ml Qian,QIN Lin,LI Hong,GUO Zhongda.Optimization technology of liquid float polishing[J].Optical Technique,2019,45(2):251-256. |
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| Authors: | Ml Qian QIN Lin LI Hong GUO Zhongda |
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| Institution: | (Shaanxi Optical Advanced Manufacturing Engineering Technology Research Center, Xi’an Technological University, Xi’an 710021,China) |
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| Abstract: | Ml Qian;QIN Lin;LI Hong;GUO Zhongda(Shaanxi Optical Advanced Manufacturing Engineering Technology Research Center, Xi’an Technological University, Xi’an 710021,China) |
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| Keywords: | optical component processing liquid float polishing shear thickening liquid orthogonal experiment extreme value method |
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