| 基于双弹光差频调制的中红外波片相位延迟高精度测量 |
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| 作者姓名： | 张瑞 陈媛媛 景宁 王志斌 李克武 解琨阳 |
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| 作者单位： | 中北大学山西省光电信息与仪器工程技术研究中心,山西太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原030051;中北大学山西省光电信息与仪器工程技术研究中心,山西太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原030051;中北大学山西省光电信息与仪器工程技术研究中心,山西太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原030051;中北大学山西省光电信息与仪器工程技术研究中心,山西太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原030051;中北大学山西省光电信息与仪器工程技术研究中心,山西太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原030051;中北大学山西省光电信息与仪器工程技术研究中心,山西太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原030051 |
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| 基金项目： | 国际科技合作项目;山西省青年科技研究基金 |
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| 摘 要： | 提出了一种基于双弹光差频调制的中红外相位延迟精确测量方法。通过两个硒化锌型弹光调制器(PEM)的差频降低系统调制频率,产生载有被测相位延迟的低频调制信号,调制后的1倍差频幅值和2倍差频幅值相除可求得被测波片的相位延迟。该方法可有效抑制光强波动及PEM相位延迟波动对测量的影响,提高测量精度。对测量原理进行了理论推导,设计了硒化锌型PEM和实验系统。实验结果表明,相位延迟测量误差不大于0.004%,灵敏度可达5×10~(-4) rad。
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| 关 键 词： | 测量 弹光调制器 差频调制 相位延迟 高精度 |
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