| 镀有增透膜的多层衍射光学元件的优化设计方法 |
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| 引用本文： | 毛珊,赵建林.镀有增透膜的多层衍射光学元件的优化设计方法[J].光学学报,2019,39(3):68-75. |
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| 作者姓名： | 毛珊 赵建林 |
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| 作者单位： | 西北工业大学理学院陕西省光信息技术重点实验室,陕西西安710072;西北工业大学理学院超常条件材料物理与化学教育部重点实验室,陕西西安710072;西北工业大学理学院陕西省光信息技术重点实验室,陕西西安710072;西北工业大学理学院超常条件材料物理与化学教育部重点实验室,陕西西安710072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;中国博士后科学基金 |
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| 摘 要： | 基于等效介质理论和多层衍射元件的本体相位延迟,考虑增透膜相位调制的影响,对多层衍射光学元件的表面微结构参数进行优化;采用优化设计方法分析应用于可见光波段镀有增透膜的多层衍射光学元件。结果表明:优化设计方法在保证增透膜物理作用的前提下,实现了在设计波长处的衍射效率为100%以及在宽波段内具有高多色光积分衍射效率;该方法弥补了传统多层衍射光学元件的设计缺陷,完善了多层衍射光学元件的设计理论,为混合成像系统的设计提供了参考。
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| 关 键 词： | 光学设计 增透膜 多色光积分衍射效率 多层衍射光学元件 入射角度 衍射效率 |
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