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校直误差对平面镜偏折术面形测量的影响
引用本文:李萌阳,袁晓东,曹庭分,李大海,刘长春,张尽力,熊召,陈海平,全旭松,易聪之,罗欢.校直误差对平面镜偏折术面形测量的影响[J].光学学报,2019,39(8):169-174.
作者姓名:李萌阳  袁晓东  曹庭分  李大海  刘长春  张尽力  熊召  陈海平  全旭松  易聪之  罗欢
作者单位:中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900;四川大学电子信息学院,四川成都,610065
摘    要:偏折术中的几何结构标定误差是制约低阶面形测量精度的主要因素。分析几何结构标定中校直误差与平面镜低阶面形测量误差之间的关系,给出描述校直误差与面形测量误差之间关系的灵敏度方程和权重因子,并通过模拟和实验结果对其进行验证。结果表明,校直误差会在面形测量结果中引入倾斜、离焦、像散和彗差等像差项,且面形测量误差与校直误差成正比。本研究有助于选择合适的偏折术系统结构,以提高低阶面形测量精度,同时可为偏折术测量中面形误差的评估和分析提供理论指导。

关 键 词:测量  误差分析  偏折术  低阶面形  几何标定  光学检测
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