| 基于单步驱动的激光共焦显微镜快速定焦方法 |
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| 引用本文： | 於维华,王允,邱丽荣,吴寒旭,赵维谦. 基于单步驱动的激光共焦显微镜快速定焦方法[J]. 光学技术, 2019, 45(5): 535-540 |
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| 作者姓名： | 於维华 王允 邱丽荣 吴寒旭 赵维谦 |
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| 作者单位： | 北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,北京,100081;北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,北京,100081;北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,北京,100081;北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,北京,100081;北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,北京,100081 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家重点研发计划 |
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| 摘 要： | 针对现有共焦显微镜中定焦速度慢和定焦精度差的问题,提出了基于单步驱动的激光共焦显微镜快速定焦方法。充分利用轴向扫描器件的响应时间通过单步驱动获取数据,大幅提高采集速度,提高系统信噪比;通过拟合区间优化和分开拟合的数据处理方法来快速、准确获取定焦目标位置,进而实现激光共焦显微镜轴向定焦效率的提升。理论分析与实验结果表明:与现有定焦方法相比,方法在粗定焦阶段使定焦速度提升5.64倍,在准确定焦阶段使定焦速度提升3.08倍,其有效提升了现有共焦显微镜的轴向定焦速度和精度。
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| 关 键 词： | 光学测量 共焦 快速定焦 单步驱动 |
Fast focusing method based on single-step driving laser confocal microscope |
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| YU Weihua,WANG Yun,QIU Lirong,WU Hanxu,ZHAO Weiqian. Fast focusing method based on single-step driving laser confocal microscope[J]. Optical Technique, 2019, 45(5): 535-540 |
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| Authors: | YU Weihua WANG Yun QIU Lirong WU Hanxu ZHAO Weiqian |
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| Affiliation: | (Beijing Key Lab for Precision Optoelectronic Measurement Instrument and Technology,School of Optics and Photonics,Beijing Institute of Technology,Beijing 100081,China) |
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| Abstract: | YU Weihua;WANG Yun;QIU Lirong;WU Hanxu;ZHAO Weiqian(Beijing Key Lab for Precision Optoelectronic Measurement Instrument and Technology,School of Optics and Photonics,Beijing Institute of Technology,Beijing 100081,China) |
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| Keywords: | optical measurement confocal fast focus identification single step drive |
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