| 基于差分空间像主成分分析的偏振像差检测方法 |
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| 引用本文： | 孟泽江,李思坤,王向朝,步扬,杨朝兴,戴凤钊.基于差分空间像主成分分析的偏振像差检测方法[J].光学学报,2019,39(7):150-158. |
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| 作者姓名： | 孟泽江 李思坤 王向朝 步扬 杨朝兴 戴凤钊 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海201800;中国科学院大学材料与光电研究中心,北京100049;中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海201800;中国科学院大学材料与光电研究中心,北京100049;中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海201800;中国科学院大学材料与光电研究中心,北京100049;中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海201800;中国科学院大学材料与光电研究中心,北京100049;中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海201800;中国科学院大学材料与光电研究中心,北京100049;中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海201800;中国科学院大学材料与光电研究中心,北京100049 |
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| 基金项目： | 国家科技重大专项;国家科技重大专项;国家自然科学基金;上海市自然科学基金 |
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| 摘 要： | 提出了一种原位的光刻机投影物镜偏振像差检测方法。定义一种新的偏振像差表征方法,推导了3对正交偏振态照明下空间像之差与偏振像差3个泡利项之间的互相关关系,并据此对交替相移掩模的3组差分空间像进行主成分分析进而求解偏振像差的各项泡利泽尼克系数。从理论上揭示了各偏振像差项在成像中的耦合规律,从而在测量原理上解决各项耦合问题,可同时测量偏振像差所有泡利项的前37阶泽尼克系数。在典型的深紫外光刻仿真条件下对所提方法进行随机偏振像差测试,其中3组泡利项的实部和虚部共6×37阶泡利泽尼克系数误差的标准差均在10~(-3)量级。测试结果验证了本方法的正确性和可行性。
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| 关 键 词： | 测量 光刻 偏振像差检测 泡利矩阵 主成分分析 |
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