| 一种非线性相位误差的全场补偿方法 |
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| 作者姓名： | 蔡文娟 曹益平 付光凯 王亚品 万莹莹 李城梦 王璐 |
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| 作者单位： | 四川大学光电科学技术系,四川成都,610064;四川大学光电科学技术系,四川成都,610064;四川大学光电科学技术系,四川成都,610064;四川大学光电科学技术系,四川成都,610064;四川大学光电科学技术系,四川成都,610064;四川大学光电科学技术系,四川成都,610064;四川大学光电科学技术系,四川成都,610064 |
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| 摘 要： | 提出了一种非线性相位误差的全场补偿方法,通过对参考面相位的多次测量,提高了参考面的解相精度,提取出一个逼近理想值的期望相位面,并用该期望相位面检测非线性相位误差。重构待测物体时,可直接用物体展开相位值在查找表中查找对应的非线性相位误差,并以此对物体的展开相位进行全场补偿。采用所提方法重构已知具体高度的平面,平均绝对误差的最大值从0.48 mm减小到0.06 mm,方均根误差的最大值从0.55 mm减小到0.07 mm。
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| 关 键 词： | 测量 三维测量 相位补偿 非线性相位误差查找表 相位测量轮廓术 Gamma非线性效应 |
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