| 变倾角移相法测量反射棱镜的光学平行差 |
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| 引用本文： | 王冲,陈磊,吴志飞,杨光,郑东晖,朱文华.变倾角移相法测量反射棱镜的光学平行差[J].光学技术,2019,45(5):541-546. |
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| 作者姓名： | 王冲 陈磊 吴志飞 杨光 郑东晖 朱文华 |
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| 作者单位： | 南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京,210094;南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京,210094;南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京,210094;南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京,210094;南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京,210094;南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京,210094 |
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| 摘 要： | 为解决棱镜等效展开为玻璃平板后因腔长固定导致的移相困难问题,提出一种变倾角移相测量反射棱镜光学平行差的方法.通过改变光束在反射棱镜入射端面上的倾角在干涉图中引入移相量,实现干涉图中的相位提取.采用最小二乘法拟合相位计算反射棱镜的光学平行差.在实验中,测试了一块弦长为56.5mm的等腰直角棱镜,得到直角偏差Δ90°为2.1435″、锐角偏差δ45°为--4.6216″、直角边对应棱差γc为0.3554″,而Zygo GPI干涉仪仅可得到棱镜直角偏差,与本文方法的测量值偏差在0.15″以内.所提方法移相光路设计简便,并可实现小尺寸反射棱镜的测量.
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| 关 键 词： | 光学测量 变倾角移相 反射棱镜 光学平行差 |
Measurement of optical parallelism error of reflective prism based on variational inclination angle |
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| WANG Chong,CHEN Lei,WU Zhifei,YANG Guang,ZHENG Donghui,ZHU Wenhua.Measurement of optical parallelism error of reflective prism based on variational inclination angle[J].Optical Technique,2019,45(5):541-546. |
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| Authors: | WANG Chong CHEN Lei WU Zhifei YANG Guang ZHENG Donghui ZHU Wenhua |
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| Institution: | (School of Electronic and Optical Engineering,Nanjing University of Science and Technology,Nanjing,Jiangsu 210094,China) |
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| Abstract: | WANG Chong;CHEN Lei;WU Zhifei;YANG Guang;ZHENG Donghui;ZHU Wenhua(School of Electronic and Optical Engineering,Nanjing University of Science and Technology,Nanjing,Jiangsu 210094,China) |
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| Keywords: | optical measurement variational inclination angle reflective prism optical parallelism error |
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